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kSA BandiT實時襯底溫度測試儀 是一種非接觸、實時測量半導(dǎo)體襯底表面溫度的測試系統(tǒng),采用半導(dǎo)體材料吸收邊隨溫度的變化的原理,實時測量晶片/襯底的溫度。
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