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            發(fā)展半導體材料 突破核心技術外還需加強檢測能力
            2021年03月03日 08:34:13 來源:化工儀器網 點擊量:5870

            半導體材料對終芯片成品的性能影響很大。因此發(fā)展半導體材料行業(yè)不僅要實現(xiàn)技術上的突破,實現(xiàn)材料國產化,還要保障材料的純度、穩(wěn)定性、功能等,使其能滿足半導體生產的要求。這需要半導體材料檢測技術與半導體生產需求的同步。

              【化工儀器網 行業(yè)動態(tài)】半導體產業(yè)是當前科技創(chuàng)新的核心之一,在世界經濟與科技發(fā)展中的地位越來越重要。自中美貿易戰(zhàn)打響以來,半導體產業(yè)成為限制我國的重要手段,因此越來越受國家重視。為了避免再次在關鍵核心技術上被“卡脖子”,我國開始大力發(fā)展半導體產業(yè)。而半導體材料是半導體產業(yè)的基石,推動半導體材料國產化對我國半導體產業(yè)的發(fā)展有著重要意義。
             
              近年來,我國出臺了多項相關政策支持和鼓勵國產半導體材料行業(yè)發(fā)展。例如2020年8月4日,國務院發(fā)布新時期促進集成電路產業(yè)和軟件產業(yè)高質量發(fā)展的若干政策》,首次明確提出鼓勵我國本土半導體材料和裝備產業(yè)的發(fā)展,并且還通過財政稅收、投融資等政策改善半導體材料企業(yè)經營環(huán)境,為半導體材料行業(yè)發(fā)展提供支持。
             
              同時產業(yè)基金和資本也在為我過半導體材料行業(yè)的發(fā)展提供有效支持。從2014年9月國家集成電路產業(yè)投資基金(大基金)成立開始,半導體產業(yè)鏈獲得了大量投資。2019年國家大基金二期成立后更是將主要投資向半導體材料領域傾斜。
             
              雖然目前我國半導體材料依然主要依賴于向美國、韓國、日本等國進口,但是在半導體國產化上已經有了較大進步,實現(xiàn)了部分半導體材料的自主研發(fā)和生產,同時也成功研發(fā)出濺射靶材、引線框架等上百種材料產品,部分產品的性能甚至能達到先進水平。
             
              半導體材料種類繁多,在半導體生產的流程中,需要根據生產工藝選用不同的半導體材料。如在晶圓制造工藝中需要用到硅片、電子特氣、光掩模版、拋光材料等,在在封裝測試中,則主要需要封裝基板、引線框架等材料。
             
              半導體材料對終芯片成品的性能影響很大。因此發(fā)展半導體材料行業(yè)不僅要實現(xiàn)技術上的突破,實現(xiàn)材料國產化,還要保障材料的純度、穩(wěn)定性、功能等,使其能滿足半導體生產的要求。這需要半導體材料檢測技術與半導體生產需求的同步。此外,在半導體材料技術取得突破的時候,我們也需要相應的檢測技術驗證成果是否可行,這對半導體材料檢測技術同樣是一次挑戰(zhàn)。
             
              半導體材料檢測涉及的項目很多,如摻雜濃度、表面缺陷、膜的厚度等。目前用于半導體檢測的儀器與主要有:掃描電鏡、透射電鏡、X射線衍射儀、原子吸收光譜儀、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀、離子探針、電子探針等。在檢測設備方面,我國對進口產品的依賴性同樣很大。在推進半導體材料國產的同時,我們同樣需要注意半導體材料檢測技術和設備的國產化。
             
              我國擁有龐大的半導體市場,并且芯片設計水平第二。然而芯片制造卻始終是我國半導體行業(yè)發(fā)展的限制因素,半導體材料依賴進口已經在威脅我國科技的發(fā)展。在美國政府重點打壓我國半導體產業(yè)的制造環(huán)節(jié)后,半導體國產化已經成為目前我國的重點任務。在此背景下,隨著國產半導體材料的不斷發(fā)展,半導體檢測行業(yè)同樣也需要隨之發(fā)展。
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