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PMS助力科百特超凈工藝微污染控制
2021年11月23日 09:24:40
來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：9416
2021年11月19日，在美麗的杭州蕭山，集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟(以下簡稱“材料聯(lián)盟”)與杭州科百特過濾器材有限公司(以下簡稱“科百特”)聯(lián)合成功舉辦了集成電路超凈工藝技術(shù)Workshop。
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2021年11月19日，在美麗的杭州蕭山，集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟(以下簡稱“材料聯(lián)盟”)與杭州科百特過濾器材有限公司(以下簡稱“科百特”)聯(lián)合成功舉辦了集成電路超凈工藝技術(shù)Workshop。
隨著半導體工藝節(jié)點不斷演進，晶圓表面的潔凈要求也越來越嚴苛。晶圓表面微污染雜質(zhì)是影響芯片良率和芯片產(chǎn)品性能的關鍵因素。為應對高階工藝對微污染控制提出的新挑戰(zhàn)和新需求，此次技術(shù)研討會邀請到了60余位半導體制造、硅材料、光刻膠、高純濕化學和拋光材料等相關行業(yè)的技術(shù)專家參會，共同探討新技術(shù)要求下的潔凈控制。
會議上，杭州市蕭山區(qū)政府領導倪世英、集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟石瑛秘書長、科百特CEO Kevin、上海集成電路研究院董事長俞文杰為大會做了精彩的致辭。
科百特CEO Kevin介紹了科百特專注在膜技術(shù)的發(fā)展，從微孔膜發(fā)展到現(xiàn)在的1nm的納米膜，主要應用于兩大產(chǎn)業(yè)——生物制藥和集成電路，生物制藥主要用于除菌過濾，蛋白和病毒的濃縮和分離；在集成電路領域，可用于光刻、清洗、刻蝕和拋光等200多個工藝點的微污染過濾和純化，最小精度已經(jīng)做到1nm。
此次會議特別邀請了武漢新芯集成電路制造有限公司首席運營官孫鵬、上海華力集成電路制造有限公司先進模塊濕法研發(fā)專家李芳科長、安集微電子科技(上海)股份有限公司應用總監(jiān)王勝利和杭州科百特過濾器材有限公司CTO山田善章(Yamada Yoshiaki)做了精彩報告。
11月19日下午，本次參會的技術(shù)專家參觀了科百特半導體濾芯百級潔凈車間、7000平技術(shù)驗證中心、200L超凈包裝桶和高純化學品內(nèi)襯設備制造車間，大家感嘆科百特高速發(fā)展和通過技術(shù)攻克解決進口依賴表示高度贊賞，對科百特半導體的戰(zhàn)略發(fā)展給予積極的評價。
科百特擁有業(yè)界領先的半導體濾芯制造技術(shù)，對微污染監(jiān)測精度已經(jīng)關注到20nm的微粒，美國粒子監(jiān)測系統(tǒng)公司(簡稱PMS)擁有業(yè)界領先的20nm微粒監(jiān)測產(chǎn)品和應用解決方案，此次大會中科百特也向半導體行業(yè)領先的高端供應商和終端客戶等與會代表介紹了行業(yè)領先的20nm化學品粒子監(jiān)測儀器PMS Chem20。
化學品折射率不同將影響粒子計數(shù)結(jié)果，為了應對不同介質(zhì)并提供更準確的監(jiān)測結(jié)果，PMS專門設計了兩種型號的Chem20供客戶選擇：
Chem 20：適用于折射率較低的化學品
Chem 20-HI：適用于硫酸和其他折射指數(shù)較高的化學品
Chem 20化學品粒子計數(shù)器是一款實用性很強的工具，在化學品中的顆粒污染物影響工藝和設備性能之前，它便能夠快速檢測化學品中的顆粒污染物，覆蓋化學品輸送從裝卸碼頭到生產(chǎn)流程節(jié)點的整個過程。Chem20在國際領先的半導體工廠已經(jīng)被廣泛使用并得到了市場的認可。
關于PMS
美國粒子監(jiān)測系統(tǒng)公司 (PMS) 是 Spectris plc 旗下子公司，秉承先進的全球污染監(jiān)測技術(shù)，也是激光粒子計數(shù)的發(fā)明者，現(xiàn)在是專業(yè)的供應商，為超潔凈環(huán)境中生產(chǎn)產(chǎn)品的公司提供監(jiān)測和控制多種污染形式的完整解決方案，幫助其擺脫污染的影響。
關于科百特
科百特專注于納米膜材料的研發(fā)和生產(chǎn)，致力于為全球集成電路制造和生物制藥產(chǎn)業(yè)提供創(chuàng)新的過濾純化解決方案。目前員工超過4000名，工程師超過1000名，總部設在杭州，在上海、北京、中國臺灣、日本、韓國和新加坡的子公司為全球106個國家及地區(qū)的20000多家客戶提供服務。半導體業(yè)務是科百特最為重要的戰(zhàn)略方向之一，除了過濾產(chǎn)品，科百特在近兩年不斷地拓展半導體行業(yè)應用的產(chǎn)品線，包括AMC 空氣過濾、脫氣膜、內(nèi)襯設備、高純化學品包裝桶、PFA閥件，均可解決卡脖子問題，科百特正在努力朝著全球領先的全流體解決方案供應商的方向邁進。
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