小型分子泵機組MPU-90i是由渦輪分子泵+前級泵+真空規(guī)組成的創(chuàng)新型產(chǎn)品，適用于制造業(yè)、分析儀器研發(fā)、真空鍍膜、熱處理、太陽能和半導體、超高真空密封石英管等領(lǐng)域，為用戶提供超高真空一站式解決方案。1.超高真空：極限真空度可達到10-6Pa，真空度觸摸屏數(shù)字顯示；2.操作簡易：提供中英文操作界面，觸摸屏一鍵啟動分子泵和前級泵；3.智能化控制程序：采用“IL智能化控制程序"，防止誤操作損壞分子泵，控制軟件，操作簡易，安全可靠；4.一機兩用：前級泵可獨立使用，滿足粗真空下的使用場景；也可以前級泵+分子泵聯(lián)動使用，獲得超高真空環(huán)境，一機兩用，性價比高；5.安裝簡單：出廠前已完成分子泵、前級泵、觸摸屏安裝，且完成氣密性檢測；6.全量程真空規(guī)：真空測量范圍1x10^5-1x10^-6Pa,垂直安裝確保測量準確。