PRECESS普瑞賽思雙層傳輸閥（V73系列）
V73雙層傳輸閥適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD，通過單軸氣動執(zhí)行器實現(xiàn)閘門L形運動的技術(shù)。在L形運動中，閘門垂直移動到關(guān)閉位置，與閥體沒有任何接觸，在最后的運動中，它被水平推到閥座上，密封件以與連接的氣壓相關(guān)的固定力接觸閥座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產(chǎn)生，還最大限度地減少了密封磨損。
為了盡量減少顆粒的產(chǎn)生和活化，閘門配備了插入式O型圈密封，硫化密封是一種選擇。這是一種比標準O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標準O型環(huán)密封也是可選的。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。
在電源故障的情況下，V73可以機械鎖定在關(guān)閉位置。
V73系列已經(jīng)安裝在各種半導體、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)過程中的數(shù)百個要求苛刻的應用中，證明了其出色的可靠性。憑借堅固的設(shè)計以及減少和易于維護，V73系列在各個方面都令人信服。
V73雙層傳輸閥始終根據(jù)客戶規(guī)格量身定制。然而，預定義了四種基本設(shè)計類型：兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型和兩種具有內(nèi)腔或外腔閥座的插入式閥門類型。
閥體材料選項包括鋁、硬質(zhì)陽極氧化、鍍鎳或不銹鋼。閘門和閥蓋密封采用FKM或FFKM。其他密封材料可應要求提供。
特征：
l半標準應用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）
l低振動。獲得認證的L形運動連桿和執(zhí)行器中無彈簧的雙換檔可實現(xiàn)更快的速度
l更平穩(wěn)的氣動執(zhí)行器
l機械鎖處于關(guān)閉位置
優(yōu)點：
l焊接波紋管執(zhí)行器密封
l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落
應用：
l半導體加工
l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積
l太陽能電池板的制造
lLCD/平板工藝
l所有其他集群真空系統(tǒng)
PRECESS普瑞賽思雙層傳輸閥（V73系列）
技術(shù)參數(shù)
尺寸 | 46 x 236 mm, 50 x 336 mm | |
執(zhí)行器 | 氣動 | 雙作用位置指示器 |
閥體材質(zhì) | 鋁或不銹鋼 | |
進料 | 波紋管 | |
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
閥座 | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
壓力范圍 | 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs) | |
壓差 | On the Gate | ≤ 1.2bar |
At opening | < 30mbar | |
循環(huán)至first使用 | ≥300萬次 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 120 °C |
閥門 | ≤ 120 °C | |
材質(zhì) | 閥體、板 | EN AW-6061 (3.3211) |
軸 | AlSI 304 (1.4301) | |
波紋管 | AISI 633(AM350) | |
密封 | 閥帽 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 |
閥門 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 | |
安裝位置 | 執(zhí)行器上方或下方 | |
電磁閥 | 24 VDC，2.5 W（其他應要求） | |
位置指示器：觸點額定 | 電壓 | ≤50 VDC |
電流 | 0-80 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
連接器 | 9針微型D口 | |
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 6 mm |
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