GM-6工業(yè)測(cè)量顯微鏡
- 公司名稱 北京榮興光恒科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2018/10/20 0:00:00
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GM-6工業(yè)測(cè)量顯微鏡
GM-6工業(yè)測(cè)量顯微鏡
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GM-6工業(yè)測(cè)量顯微鏡
測(cè)量顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體，集成電路的檢驗(yàn)和精確測(cè)量。配備有冷光源光纖反射照明，成像和觀察系統(tǒng)，偏光裝置。
● 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm
● 鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒,30°傾斜，瞳距55-75mm
● 高眼點(diǎn)、視場(chǎng)目鏡WF10X/22
● 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器
● 長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡
Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm,
Plan Apo 5X/0.14 W.D. 45mm 分辨率2μm,
Plan Apo 10X/0.28 W.D. 34mm 分辨率1μm,
Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm
Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm
● 調(diào)焦系統(tǒng)同軸粗微調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值0.002mm
● 載物臺(tái) 6″x8″雙層活動(dòng)平臺(tái),移動(dòng)行程153x204mm
● 三維測(cè)量系統(tǒng)
分辨率： 1μm
測(cè)量精度: ±（2+L/200）μm
重復(fù)定位精度: 2μm
照明系統(tǒng)
● 冷光源光纖反射照明器：12V150W，特別明亮清晰
● 選配：
完善和全面的測(cè)量軟件
--------完整的幾何量測(cè)（如:點(diǎn),線,圓,弧,角度等）
--------坐標(biāo)系的設(shè)定，擺正,旋轉(zhuǎn)
--------顯示方式多樣化；語(yǔ)言的轉(zhuǎn)換，公英制單位的轉(zhuǎn)換,角度的轉(zhuǎn)換
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