一、概述

小流量熱式質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理,熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻（鉑RTD）,一個(gè)是速度傳感器,一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。

CP-65系列小口徑氣體質(zhì)量流量計(jì)，主要用于對(duì)微小氣體的流量精密測(cè)量。以小口徑區(qū)別于傳統(tǒng)的熱式氣體質(zhì)量流量計(jì),CP-65系列具有量程比寬，響應(yīng)時(shí)間短，壓力損耗小，使用方便，價(jià)格便宜等特點(diǎn)。CP-65氣體質(zhì)量流量計(jì)在真空鍍膜 、材料科學(xué) 、微電子工業(yè)、石油 化工、醫(yī)藥、環(huán)保和科學(xué)研究等領(lǐng)域中有著重要的應(yīng)用。

二、技術(shù)參數(shù)：

•可測(cè)介質(zhì)： 不含水且成分穩(wěn)定的氣體

•介質(zhì)溫度： -20～55℃

•承壓范圍：0.5-1MPa（高壓可以定制）

•量程范圍：0-20ml、0-50ml、0-200ml、0-1000ml、0-100l、0-150l、0-250l、0-300l 每分鐘

•精度： 1.0級(jí)、1.5級(jí)

•重 復(fù) 性：0.2%

•供電：24V DC

•輸出：4～20mA

•響應(yīng)時(shí)間：小于1秒

•連接螺紋：1/2NPT （其他可以訂制）

•防護(hù)等級(jí)：標(biāo)準(zhǔn)IP65

三、特點(diǎn)：

•采用熱擴(kuò)散原理,熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。

•不同氣體系數(shù)的設(shè)定

•輸出模擬量的校正

•多點(diǎn)非線性曲線修正

•寬量程比大于100：1

•接近零壓力損失的封裝傳感器

•對(duì)振動(dòng)不敏感

•直管段要求較小

•測(cè)量值與壓力無關(guān)，真正的質(zhì)量流量檢測(cè)

•采用專家算法，實(shí)現(xiàn)儀表的高精度和穩(wěn)定性

•小于一秒的響應(yīng)時(shí)間

•液晶顯示，具有瞬時(shí)顯示，無需切換

四、小流量熱式質(zhì)量流量計(jì)工作原理：

氣體質(zhì)量流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理，熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個(gè)熱電阻（鉑 RTD），一個(gè)是速度傳感器,一個(gè)是自動(dòng)補(bǔ)償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個(gè)RTD被置于介質(zhì)中時(shí)，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個(gè)恒定的溫度，另一個(gè)溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計(jì)算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。