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            AL18微波等離子去膠清洗機(jī)

            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 公司名稱 那諾中國(guó)有限公司
            • 品牌
            • 型號(hào)
            • 產(chǎn)地 德國(guó)
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
            • 更新時(shí)間 2023/11/13 12:50:25
            • 訪問次數(shù) 2144

            聯(lián)系方式:吳運(yùn)祥查看聯(lián)系方式

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            那諾中國(guó)有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國(guó)大陸、香港、澳門和中國(guó)臺(tái)灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機(jī)構(gòu)提供高性能、高性價(jià)比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測(cè)儀器。


            那諾中國(guó)提供美國(guó)那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機(jī)等)。


            那諾中國(guó)提供英國(guó)KORE基于飛行時(shí)間的質(zhì)譜儀,包含飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等。





            ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機(jī),PA-MOCVD,飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

            產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥

            微波等離子清洗去膠

            AL18微波等離子去膠清洗機(jī)概述:AL18等離子系統(tǒng)適用于小批量生產(chǎn)和研發(fā)的*設(shè)備。并且,此系統(tǒng)可以滿足360度的芯片封裝需要。AL18系統(tǒng)是一款創(chuàng)新型的通用設(shè)備,可選配旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤,及ECR(電子回旋共振)裝置。

            AL18微波等離子去膠清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):

            • 腔體:鋁
            • 容積:18公升
            • 尺寸:寬度250毫米×深度290毫米×高度250毫米
            • 腔室門:帶觀察窗口的鉸鏈?zhǔn)介T
            • 微波源:2.45GHz,可調(diào)50-600W
            • 氣體進(jìn)氣:1路數(shù)字顯示的質(zhì)量流量器控制
            • 真空計(jì): Pirani,1-1000Pa
            • 真空系統(tǒng):DN 25 ISO-KF
            • 真空閥:電動(dòng)氣動(dòng)閥

            系統(tǒng)控制:

            • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
            • 7”觸摸屏、圖形用戶界面
            • Windows Office兼容
            • 存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息,處理數(shù)據(jù)輸出
            • 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測(cè)
            • 自動(dòng)或手動(dòng)操作

            選配:

            • 真空泵 : 雙級(jí)真空泵,如,抽吸能力大40m3/h
            • 氣路:額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器
            • 旋轉(zhuǎn)臺(tái):鋁,直徑200mm,速度可調(diào)
            • ECR(電子回旋共振):鋁、支架配置永磁體


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