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低流,雙向常閉(NC)與綜合熱補償比例閥,保持準確和可重復流在一個廣泛的媒體VSO低流量控制閥為應用提供增強的流控制需要精確的控制流控制在0 - 500 sccm之間。VSO微型比例閥,VSO低流微型比例閥提供精確的氣體流量控制輸入電流成比例。閥門可以控制直流電流或脈沖寬度調制與閉環(huán)反饋提供*的系統(tǒng)性能。一起提供精確控制的能力范圍廣泛的媒體,VSO低流微型比例閥適合氣相色譜和質譜設備的制造商。
允許精確的低(0 - 500 sccm)控制流來提高儀器精度
熱補償維持精確對范圍廣泛的媒體流
計算機自動校準和序列化性能的可追溯性
清洗氧和分析服務使用
證明性能測試1000萬生命周期
通過無鉛認證
典型應用:
氣相色譜
質譜
壓力和流量控制
質量流量控制

2型方式常閉閥配置伺服閥的主閥一般來說和換向閥一樣是滑閥結構，只不過閥芯的換向不是靠電磁鐵來推動，而是靠前置級閥輸出的液壓力來推動，這一點和電液換向閥比較相似，只不過電液換向閥的前置級閥是電磁換向閥，而伺服閥的前置級閥是動態(tài)特性比較好的噴嘴擋板閥或射流管閥。
也就是說，伺服閥的主閥是靠前置級閥的輸出壓力來控制的，而前置級閥的壓力則來自于伺服閥的入口p，假如p口的壓力不足，前置級閥就不能輸出足夠的壓力來推動主閥芯動作。
而我們知道，當負載為零的時候，如果四通滑閥*打開，p口壓力=t口壓力+閥口壓力損失（忽略油路上的其它壓力損失），如果閥口壓力損失很小，t口壓力又為零，那么p口的壓力就不足以供給前置級閥來推動主閥芯，整個伺服閥就失效了。所以伺服閥的閥口做得偏小，即使在閥口全開的情況下，也要有一定的壓力損失，來維持前置級閥的正常工作。派克美國PARKER流微型比例閥  國越貿易上海總經銷

性能特征
典型應用氣相色譜法、質譜法、壓力和流量控制,質量流量控制
性能:0到500 sccm流量范圍
性能:壓力范圍0到150 psi
孔的大小可用。003”(0.076毫米)
熱補償熱補償
尺寸:寬0.63(16.51毫米)
尺寸:身高0.67(17.02毫米)
尺寸:長度1.79(45.34毫米)
濕材料:閥體/閥桿基礎360 HO2黃銅,不銹鋼430 FR
濕材料:海豹(彈性體)fkm
所有其他濕300系列不銹鋼材料
電流或電壓控制方法

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