EL X-01R、EL X-02 C、EL X-02 spec 橢偏儀
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 實密國際貿(mào)易（上海）有限公司
- 品牌
- 型號 EL X-01R、EL X-02 C、EL X-02 spec
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2017/7/18 1:28:40
- 訪問次數(shù) 924
產(chǎn)品標(biāo)簽
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激光器，半導(dǎo)體激光器，光纖耦合半導(dǎo)體激光器，高功率半導(dǎo)體激光器，光束整形器,推拉力測試機，X光無損檢測系統(tǒng)，超聲波掃描成像顯微鏡
DRE公司設(shè)計的基于誤差修正的步進馬達和MinSearch算法基礎(chǔ)上的高精度橢偏儀，測量更為簡單、快速，而且結(jié)果更為準(zhǔn)確。樣品的Alignment非常簡單，只需調(diào)整樣品臺下方的旋鈕，改變 Light Angle和 Light Intensity，并借助四象限探測器在計算機屏幕上顯示的調(diào)整狀況，便可在不超過 30 秒鐘的時間內(nèi)完成。無需經(jīng)常做儀器校準(zhǔn)。由于使用高精度的 Step Motor，且無需使用Reference Sample經(jīng)常進行做儀器Calibration?？蛇M行超薄膜（皮米級）的分析?？蛇M行半導(dǎo)體Si Wafer 表面灰塵的分析，這是目前所有橢偏儀廠商中*具備此項功能的一家。薄膜粗糙度 (Roughness) 的表征也是目前所有制造廠中*特色的一家?？蛇M行變溫（液氮至400ºC）測量?？焖?/SPAN>Mapping測量。使用X-Y 樣品臺, 進行 1 秒/點的Mapping 或微秒/點的快速掃描?？煞治?/SPAN> 8" 甚至于 12" Si Wafer的厚度變化?？蛇M行微區(qū)分析(激光焦斑的尺寸可達1微米)。應(yīng)用范圍非常廣泛：如Si襯底上的SiO2和SixNy薄膜，光電子涂層，各種磁性薄膜，平板顯示工業(yè)的 ITO薄膜和薄膜晶體管的結(jié)構(gòu)，生物和化學(xué)工業(yè)的各種有機層、分子膜，光觸媒用TiO2 薄膜分析，鋁熱交換器表面抗氧化薄膜，奔馳汽車引擎或汽缸激光焊接前的清潔薄膜分析等。同時，提供多種光譜儀選擇，如回轉(zhuǎn)檢偏器（RAE），高精度，消光型（Null Ellipsometer），光譜型（Spectroscopic Ellipsometer，190~2400 nm，可選），超高精度傳動等。
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