UVISEL 2 VUV UVISEL 2 VUV真空紫外橢偏儀
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 HORIBA科學(xué)儀器事業(yè)部
- 品牌 HORIBA/堀場
- 型號 UVISEL 2 VUV
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/1/23 17:31:03
- 訪問次數(shù) 1983
產(chǎn)品標簽
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真空紫外橢偏儀專為VUV 測量設(shè)計，整個系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無氧氣吸收。具備高度準確性；*的超快測量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮氣消耗量少。
真空紫外橢偏儀產(chǎn)品特點
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50KHz 高頻PEM 相位調(diào)制技術(shù)
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45 秒內(nèi)完成充氮氣
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2 分鐘內(nèi)完成樣品室抽真空
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8 分鐘內(nèi)完成光譜全譜范圍內(nèi)測量
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兩種工作模式：氮氣清洗結(jié)合抽
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真空、連續(xù)氮氣清洗
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光譜范圍：147nm~850nm；147nm~2100nm
重點應(yīng)用領(lǐng)域
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超薄膜
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157nm 光刻新材料
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有機材料、高分子材料
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高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
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抗反射涂層
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半導(dǎo)體和介電材料電子躍遷
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MgF2、CaF2、LaF3
采購中心
化工儀器網(wǎng)