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            官方微信|手機(jī)版
            
			
			
            
				
			
            
		
            
  

              
            

            
			
				
			
			
            產(chǎn)品展廳
            
			
            產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展
            
 			
            
				
				
				
			
            
			
            
				發(fā)布詢價(jià)單
			
            
         
		
            
  
            
    
            化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>光學(xué)測量儀>橢偏儀>Film Sense FS-1  FS-1單波長橢偏儀 
            
  
            
  
            
  
    
      
            

			
            Film Sense FS-1  FS-1單波長橢偏儀
            
			
            
			
			
							
				
            
													
            
							    							
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            
							
            
											
            
						
              
							
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								公司名稱
								優(yōu)尼康科技有限公司                      
                  
							
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								品牌
								其他品牌
							
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								型號
								Film Sense FS-1
							
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								產(chǎn)地
								
							
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								廠商性質(zhì)
								生產(chǎn)廠家
							
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								更新時間
								2024/7/24 16:13:22
							
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								訪問次數(shù)
								1703
							
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						產(chǎn)品標(biāo)簽
						
            多波長橢偏儀橢偏儀橢偏儀
            
					
            
										
            
						
												
            聯(lián)系方式：優(yōu)尼康查看聯(lián)系方式
            
						
            聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
            
											
            
				
            
							
            
			
			
		
            
		
            
  
            
  
    
  
            
    
    
    
    
     
            
  
            
  	  	
            
  		
  		
            
  			
            
  			
            
	  			
                   我們真誠希望與大家共同成長，共同發(fā)展，一起創(chuàng)造美好的明天。
             
             
             
             
             
            
	  		
            
  		
            
		
  		
            
  		
            
  			
            
  			
            
  				
            主動式減震臺,Profilm3D光學(xué)輪廓儀,Filmetrics膜厚測量儀,薄膜厚度測量儀,粗糙度測量,輪廓測量，橢偏儀
            
  			
            
  		
            
  		
            
		
		
  	
            
  	
            
  		
	    
            
      		
            
			        
            
	    	                                	            
            
    	                	            產(chǎn)地類別
    	            進(jìn)口
                        	                                    	            價(jià)格區(qū)間
    	            面議
                        	            
            
    	                	                                    	            
            
    	                	            應(yīng)用領(lǐng)域
    	            醫(yī)療衛(wèi)生,電子/電池,鋼鐵/金屬,汽車及零部件
                        	            	    	   	 
            
			
            
    					
    
            Film Sense FS-1多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)快速和可 靠地薄膜測量。
            大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就 可以獲得非常精密和的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學(xué)常 數(shù)和其他薄膜特性。
            Film Sense FS-1多波長橢偏儀 這款功能強(qiáng)大的多波長橢偏儀，售價(jià)只是單一波長橢偏儀
            和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1 可應(yīng)用于研究實(shí)驗(yàn)室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域

            主要特點(diǎn)
            ? 4 個 LED 光源：藍(lán)色（465nm），綠色（525nm）， 黃色（580nm），紅色（635nm）
            ? 橢偏儀探測器中無可移動部件
            ? 的膜厚精密性，大多數(shù)樣品精密度優(yōu)于 0.001nm（1 秒獲取數(shù)據(jù)），對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm
            ? 集成計(jì)算機(jī)，可實(shí)現(xiàn)對設(shè)備控制和數(shù)據(jù)分析，自帶 瀏覽器界面，可兼容任何現(xiàn)代計(jì)算機(jī)，筆記本或平 板電腦

            優(yōu)勢
            ? 壽命長（長達(dá) 50,000 小時），更換 LED 燈便宜，校準(zhǔn)時 間短或無需 PM 程序
            ? 快速測量（10ms 內(nèi)獲得多波長數(shù)據(jù)）和性能穩(wěn)定
            ? 測量，只有橢偏儀可以實(shí)現(xiàn)
            ? 軟件設(shè)置和維護(hù)簡單
            標(biāo)準(zhǔn) FS-1 配置
            ? 65°入射角
            ? 手動放置樣品和調(diào)節(jié)高度
            ? 樣品尺寸大直徑 200mm 和厚度 23mm
            ? 樣品偏轉(zhuǎn)范圍+/-20
            ? 樣品上光束尺寸 5 x 12 mm
            ? 結(jié)構(gòu)緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)
            性能
            FS-1 多波長橢偏儀擅長測量膜厚范圍 0-1000nm 的透明單一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是針對各種不同樣品，包括多 層膜樣品，F(xiàn)S-1 獲得的標(biāo)準(zhǔn)測量精密度和性數(shù)據(jù)。
            FS-1單波長橢偏儀

            應(yīng)用領(lǐng)域
            ? 半導(dǎo)體行業(yè)：二氧化硅和氮化物，高介電和低介電 材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻膠
            ? 光學(xué)薄膜行業(yè)：高和低指數(shù)薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 等
            ? 顯示屏行業(yè)：TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有機(jī)薄 膜（OLED 技術(shù)）
            ? 數(shù)據(jù)存儲行業(yè)：寶石，如碳膜
            ? 工藝研發(fā)：原位表征薄膜沉積（速率和光學(xué)常數(shù)） VS 工藝條件，可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控濺射 等設(shè)備
            ? 化學(xué)和生物：在液體細(xì)胞實(shí)驗(yàn)中探測亞單原子層材 料吸附
            ? 工業(yè)：在線監(jiān)測和控制膜厚

            In Situ 在線測量功能
            ? 亞單原子膜厚精密度
            ? 多工藝條件下測定薄膜光學(xué)常數(shù) n&k 和沉積速率，不 會破壞真空
            ? 監(jiān)測和控制多層膜結(jié)構(gòu)沉積
            ? FS-API 界面，外置軟件控制（兼容 LabVIEW ）
            ? 兼容大多數(shù)薄膜沉積技術(shù)：磁控濺射，ALD，MBE，MOCVD，電子束蒸發(fā)等
            FS-1單波長橢偏儀
            In Situ 在線測量
            FS-1單波長橢偏儀

            產(chǎn)品包括 FS-1多波長橢偏儀，帶緊湊自動 mapping 樣品 臺，可以實(shí)現(xiàn)快速，和可靠的薄膜均勻性測量。
            特點(diǎn)和參數(shù)
            ? 4 段波長的橢偏數(shù)據(jù)（465, 525, 580, 635 nm），壽命長 的 LED 光源，探測器內(nèi)無可移動部件
            ? 可對 0-1000nm 透明薄膜進(jìn)行的厚度測量
            ? 標(biāo)準(zhǔn)濃厚重復(fù)性 0.015 nm
            ? 集成聚焦探針，標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm （其他尺寸 可選）
            ? 電動 Z 軸樣品臺自動準(zhǔn)直
            ? 靈活掃描圖案編輯器
            ? 測量參數(shù)等值線繪制
            聚焦光束選件
            ?樣品上光束尺寸減小到 0.8 x 1.9 mm 或 0.3 x 0.7 mm

            聚焦光束檢測
            聚焦光束檢測系統(tǒng)包括一個 FS-1 多波長橢偏儀，帶光束聚焦光學(xué)器件和一個手動位移臺。該系統(tǒng) 非常適合用于手動檢測和在圖案化半導(dǎo)體晶圓上 進(jìn)行質(zhì)量控制測量。
            ?可進(jìn)行科研測量，帶小尺寸光斑和相機(jī)成像功能
            ?手動位移臺，可容納 4’，5’，6’晶圓
            ?樣品上光束尺寸 0.3 x 0.7 mm
            ?樣品上光束位置視頻圖像
            FS-1單波長橢偏儀


            FS-XY150
            ? 標(biāo)準(zhǔn)晶圓 map 時間：60s（150mm 晶圓上取 49 個點(diǎn)）
            ? 結(jié)構(gòu)緊湊：600x600 mm, 16 kg
            ? 樣品臺行程（X,Y）：150 x 150 mm, 精度：5 μm
            FS-1單波長橢偏儀
            FS-RT300
            ? 標(biāo)準(zhǔn)晶圓 map 時間：90s（300mm 晶圓上取 49 個點(diǎn)）
            ? 結(jié)構(gòu)緊湊：400x500 mm, 22 kg
            ? 樣品臺行程：R (線性) ：150 mm, 精度：12 μm
            ? 角度（旋轉(zhuǎn)）360°，精度：0.1°
            FS-1單波長橢偏儀


            
	    
            
		    
    
  	
            
  
            
  
            
    	
    
    
            
      
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