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Mitutoyo三豐三坐標測量機型號價格及維修

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 蘇州澤升精密機械儀器有限公司
品牌 其他品牌
型號
產(chǎn)地日本
廠商性質(zhì) 代理商
更新時間 2025/3/29 14:14:23
訪問次數(shù) 18071

產(chǎn)品標簽

三豐三坐標測量機 Mitutoyo三坐標測量機 Mitutoyo三坐標維修 Mitutoyo三坐標價格三豐三坐標維修

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公司介紹 主營產(chǎn)品

蘇州澤升精密機械儀器有限公司經(jīng)營機床設(shè)備和配件、計量器材、測控儀器、質(zhì)檢設(shè)備、量具刃具、量規(guī)光學(xué)儀器。提供計量測試技術(shù)咨詢和維修服務(wù)，是國內(nèi)計量質(zhì)檢器材銷售業(yè)內(nèi)頗具度和信譽度的綜合供應(yīng)商和服務(wù)商。公司始終貫徹為客戶提供服務(wù)的宗旨，一直將推薦國內(nèi)外產(chǎn)品和技術(shù)為己任，目前公司銷售的相關(guān)產(chǎn)品已多達萬余種，除國產(chǎn)產(chǎn)品外，還包含了來自美國、瑞士、德國、英國、日本、意大利等國家的產(chǎn)品，歡迎咨詢。

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光柵尺，球柵尺，磁柵尺，投影儀，影像儀，三坐標測量儀，

詳細信息 在線詢價

產(chǎn)地類別	進口	產(chǎn)品種類	橋式
工作方式	水平式	工作原理	手動型
價格區(qū)間	70萬-100萬	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

Mitutoyo三豐三坐標測量機型號價格及維修CRYSTA-Apex S系列、MICROCORD Crysta-Plus M系列、MICROCORD STRATO-Apex系列、MICROCORD LEGEX系列等產(chǎn)品銷售、維修聯(lián)系我們將竭誠為你服務(wù)。

CMMC-300 V/N三豐三坐標測量機控制柜控制器控制箱主機電柜等故障檢測維修保養(yǎng)及技術(shù)解決方案。

QVC-30三豐三坐標測量儀影像測量儀粗糙度測量儀控制柜主機箱控制器等故障檢測維修及技術(shù)解決方案。

Remote Box三豐輪廓粗糙度儀手操盒操作盒故障檢測維修保養(yǎng)及技術(shù)解決方案。

CONTROL BOX2三豐控制器操作盒控制器故障檢測維修。

JSBOX-M2（Dsub 15)三豐三坐標測量儀操作盒操作面板操縱搖桿、手持盒單元故障檢測維修保養(yǎng)及技術(shù)解決方案。

三豐QM-DATA200/100投影儀顯微鏡高度儀等數(shù)顯表按鍵面板薄膜開關(guān)維修更換

Mitutoyo三豐三坐標測量機型號價格及維修內(nèi)容：

?測量結(jié)果誤差大?：可能是由于設(shè)備未校準、傳感器損壞、工件表面粗糙度低或測量頭污染等原因。解決方法包括定期校準設(shè)備、檢查并更換損壞的傳感器、提高工件表面粗糙度或清潔測量頭?
。
?設(shè)備啟動困難?：可能是電源問題或控制系統(tǒng)故障。檢查電源連接和控制系統(tǒng)，必要時更換電源或維修?。
?運行速度慢?：可能是由于設(shè)備老化、軟件問題或電源問題。更新或重新安裝軟件、更換電源或考慮更換新設(shè)備?
。
?機械故障?：包括導(dǎo)軌磨損、軸承損壞、絲杠或齒輪磨損等，導(dǎo)致機器運行不平穩(wěn)或有異常噪音。檢查并更換磨損部件，確保良好的潤滑。
?電氣故障?：如控制系統(tǒng)故障、傳感器故障或電纜損壞，導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)不準或機器無法正常工作。檢查并維修控制系統(tǒng)、更換損壞的傳感器或電纜?
。
?軟件故障?：包括測量軟件錯誤或操作系統(tǒng)問題。更新軟件到新版本，檢查并修正測量程序，必要時重新安裝操作系統(tǒng)。
?環(huán)境因素?：溫度和濕度不穩(wěn)定、灰塵和污垢積累會影響測量精度和機器性能。確保測量環(huán)境符合要求，定期清潔機器?
。
?操作錯誤?：操作不當或測量程序設(shè)置錯誤會導(dǎo)致測量結(jié)果不準。對操作人員進行培訓(xùn)，確保操作流程正確，檢查并修正測量程序?
。
?維護不當?：缺乏定期維護會導(dǎo)致機器性能下降和故障頻發(fā)。制定并執(zhí)行定期維護計劃?
。

?三豐三坐標測量機報警代碼及其解決方法：

?E948或949或950亮紅燈?：無法啟動故障，解決方法是檢查電源和控制系統(tǒng)的硬件和軟件?
。
?E540、542或543?：無法做機械復(fù)位，解決方法是檢查并修復(fù)控制系統(tǒng)故障。
?E866亮紅燈?：無法啟動故障，解決方法是檢查電源和控制系統(tǒng)?
。
?E660或661或662?：無法做機械復(fù)位故障，解決方法是檢查并修復(fù)控制系統(tǒng)故障。
?670或671做機械復(fù)位時報警?：解決方法是檢查并修復(fù)控制系統(tǒng)故障?
?三豐三坐標測量機的故障代碼及其含義?：
?Cd-P?：數(shù)據(jù)無法寫入用戶自定義ROM中，是由于用戶自定義ROM異常。
?Cd-E?：存在用戶自定義ROM校驗和錯誤，也是用戶自定義ROM異常。
?Cd-C?：CMM未連接，即所有限制開關(guān)關(guān)閉，表示沒有連接CMM。
?Cd-U?：用戶自定義ROM的版本不相符，屬于用戶自定義ROM異常。
?Cd-G?：DIP SW補正的設(shè)置內(nèi)容與用戶自定義ROM中的補正數(shù)據(jù)類型不一致，可能是DIP SW設(shè)置錯誤、補正數(shù)據(jù)錄入錯誤或用戶自定義ROM異常。
?Cd-A?：伺服調(diào)整模式，這不是一個錯誤代碼，而是伺服調(diào)整模式的狀態(tài)指示?1。
?三豐三坐標測量機故障及其解決方法?：
?電腦與三坐標連接不良?：檢查連接線是否松動或損壞，重新連接或更換連接線。
?RDS側(cè)田無法正常旋轉(zhuǎn)角度?：檢查RDS側(cè)田的驅(qū)動電機和傳動裝置是否正常工作。
?測針取點時經(jīng)常取不到點?：檢查測針是否損壞或校準不準，必要時進行校準或更換測針。
?測量精度誤差大?：可能是設(shè)備未校準或傳感器損壞，定期校準設(shè)備并檢查傳感器。
?控制面板故障或操縱桿失靈?：檢查控制面板和操縱桿的連接是否正常，必要時更換部件。
?運行時氣浮塊與軌道之間的摩擦?：檢查氣浮塊和軌道是否有異物或潤滑不足，進行清潔和潤滑。
吸盤不穩(wěn)定?：檢查吸盤是否正常工作，必要時進行維修或更換。
?軟件編程不合理?：更新或重新安裝軟件，確保軟件與硬件兼容。
?手動三坐標移動不順暢?：檢查導(dǎo)軌和移動部件是否有異物或潤滑不足，進行清潔和潤滑?

?三豐三坐標測頭故障維修及其解決方法?：

?測頭無法彈出?：如果三豐內(nèi)徑表測頭無法彈出，可以嘗試檢查測頭的機械結(jié)構(gòu)是否有卡住的情況，或者測頭彈簧是否失效。維修人員進行檢修?
。
?測量結(jié)果誤差大?：可能是測頭位置偏移或傳感器損壞。定期校準測頭，并檢查傳感器是否正常工作。如果問題依舊，可能需要更換損壞的部件?
。
?信號不穩(wěn)定?：探針損壞或信號不穩(wěn)可能是由于探針受到撞擊或磨損。及時檢查并更換損壞的探針，確保信號穩(wěn)定?
。
?連接不緊?：測頭與機器的連接不緊密可能導(dǎo)致測量誤差。仔細檢查連接部分，確保連接緊。
?清潔和維護?：定期清潔測頭和相關(guān)的機械部件，確保沒有灰塵或異物影響測頭的正常工作。潤滑不足也可能導(dǎo)致移動部件卡住，影響測頭的正常使用?
。

三豐三坐標操作面板故障維修內(nèi)容?：

?電源問題?：電源故障或電源連接不良可能導(dǎo)致操作面板無法正常工作。解決方法是檢查電源連接情況，必要時更換電源?
。
?控制系統(tǒng)故障?：控制系統(tǒng)的故障也可能導(dǎo)致操作面板失靈。解決方法進行維修?
。
?硬件兼容性問題?：軟件與硬件不兼容可能導(dǎo)致操作面板無法正常響應(yīng)。解決方法是檢查硬件兼容性，必要時更新軟件或更換硬件?
。
?軟件問題?：軟件bug或程序錯誤可能導(dǎo)致操作面板失靈。解決方法是更新軟件或重新安裝軟件?
。
?人為操作不當?：操作不當或誤操作可能導(dǎo)致操作面板損壞。解決方法是按照操作指南正確使用設(shè)備?或者維修
搖桿失靈或者沒反應(yīng)：更換搖桿

三豐三坐標控制柜故障維修及解決方法?：

?控制柜無法開機?：

檢查電源插座是否插好，電源開關(guān)是否打開。
檢查電源線是否正常連接，是否有損壞。
檢查控制柜內(nèi)部是否有漏電或短路現(xiàn)象。
檢查控制柜內(nèi)部是否有燒毀的元件或線路，如有需更換?。

?控制柜無法連接探頭?：

檢查探頭線是否正常連接到控制柜。
檢查探頭是否正常工作，如有故障需更換。
檢查控制柜是否識別到探頭信號，如未識別需進行設(shè)置?。

?顯示屏無法正常顯示?：

檢查顯示屏連接是否正常，是否有損壞。
檢查顯示屏設(shè)置是否正確，如分辨率、亮度等。
檢查控制柜內(nèi)部是否有與顯示屏相關(guān)的故障，如有需進行修復(fù)或更換?。

?運行過程中出現(xiàn)報警?：

根據(jù)報警代碼查詢故障原因。
檢查控制柜內(nèi)部是否有與報警代碼相關(guān)的故障，如有需進行修復(fù)或更換。
如果無法解決報警問題，進行維修處理?。

?運行速度慢?：

檢查控制柜內(nèi)部是否存在影響運行速度的故障，如有需進行修復(fù)或更換。
檢查控制柜內(nèi)存是否足夠，是否需要更換或升級。
檢查控制柜軟件是否需要更新或升級?。

?運行過程中出現(xiàn)死機或重啟?：

檢查控制柜內(nèi)部是否存在病毒或惡意軟件，需進行清除或殺毒處理。
檢查控制柜內(nèi)存是否足夠，是否需要更換或升級。
檢查控制柜是否存在硬件故障，如有需進行修復(fù)或更換?

Mitutoyo三坐標測量儀技術(shù)參數(shù)及實物圖：

Mitutoyo三豐三坐標測量機型號價格及維修

三豐標準CNC三坐標測量機CRYSTA-Apex S系列

Mitutoyo三豐三坐標測量機型號價格及維修

三坐標測量儀產(chǎn)品特點

Crysta-Apex S 系列容許指示誤差 MPEE=(1.7+3L/1000)μm，為* CNC三坐標測量機【 500/700/900系列】。
將MPEE=(2.5+4L/1000)μm 級別的三坐標測量機與Crysta-Apex S 系列進行比較。假定的*度(圖紙公差) 在±0.02mm，測量機假設(shè)的*度在1/5 以下(1/10 以下理想)，也就是4μm，這就意味著尺寸公差 1/5 的*度下，測量長度超過375mm，*度便不可靠了。相反，如右圖*示，CRYSTA-Apex S 系列在尺寸公差1/5 的*度下，測量長度達到766mm。*Crysta-Apex S 系列從相同*度的能力來看，存在2 倍以上的差。

溫度補償系統(tǒng)

可將溫度補償功能系統(tǒng)(選件) 安裝在CRYSTA-Apex S 三坐標測量機上。這就了在16-26oC 溫度條件下三坐標測量機主機的*度。
這個系統(tǒng)，使用安裝在光柵尺上的溫度傳感器和工件上的溫度傳感器，監(jiān)測光柵尺溫度和工件溫度，在輸出測量結(jié)果到控制器之前，同時考慮工件材料膨脹系數(shù)以及CMM 的特點，修正到它在20oC 時的測量值。用于CRYSTA-Apex S 的光柵尺/ 工件組合溫度補償方案的結(jié)果，明顯優(yōu)于只有光柵尺溫度補償?shù)南到y(tǒng)。

產(chǎn)品規(guī)格

標準CNC 三坐標測量儀
MICROCORD CRYSTA-Apex S500/700/900 系列

型號		CRYSTA-Apex S 544	CRYSTA-Apex S 574	CRYSTA-Apex S 776	CRYSTA-Apex S 7106	CRYSTA-Apex S 9106 (Z600) /9108 (Z800	CRYSTA-Apex S 9166 (Z600) /9168 (Z800)	CRYSTA-Apex S 9206 (Z600) /9208 (Z800
測量范圍	x軸	500mm		700mm		900mm
	y軸	400mm	700mm	700mm	1000mm	1000mm	1600mm	2000mm
	z軸	400mm		600mm		600mm/800mm
測量速度		8mm/s		8mm/s		8mm/s (3mm/s 型為Z800)
驅(qū)動速度		各軸8-300mm/s (CNC模式)，合成加速度519mm/s		合成加速度519mm/s 0-80mm/s (J / S模式：速) 0-3mm/s (J / S模式：低速) 0.05mm/s (J / S模式：細速度)		各軸8-300mm/s (CNC模式)，合成加速度519mm/s 0-80mm/s (J / S模式：速) 0-3mm/s (J / S模式：低速) 0.05mm/s (J / S模式：細速度)
加速度		各軸 1333mm/s2,合成加速度 2309mm/s2		各軸 1333mm/s2,合成加速度 2309mm/s2		各軸 1333mm/s2 (Z800型為1000mm/s2)，合成加速度 2309mm/s2 (Z800型為1732mm/s2)
分辨力		0.0001mm (0.1μm)		0.0001mm (0.1μm)		0.0001mm (0.1μm)
導(dǎo)向系統(tǒng)		各軸均采用氣浮軸承
測量*度		545mm		800mm		800mm (Z=600mm)/1000mm (Z=800mm)
負載		180kg		800kg	1000kg	1200kg	1500kg	1800kg
重量(包括控制裝置和安裝工臺)		515kg	625kg	1675kg	1951kg	2231kg (Z=600mm)	2868kg (Z=600mm)	3912kg (Z=600mm)
						2261kg (Z=800mm)	2898kg (Z=800mm)	3942kg (Z=800mm
空氣供給	氣壓	0.4MPa
	消耗量	50L/min 正常情況下 (空氣源: 100L/min)		60L/min 正常情況下 (空氣源: 120L/min)		60L/min 正常情況下 (空氣源: 120L/min)

MICROCORD CRYSTA-Apex S1200 系列
MICROCORD Crysta-Apex C1600/C2000 系列

測量速度		5mm/s			3mm/s			3mm/s
驅(qū)動速度		各軸8-300mm/s (CNC模式)，合成加速度519mm/s 0-80mm/s (J / S模式：速) 0-3mm/s (J / S模式：低速) 0.05mm/s (J / S模式：細速度			各軸8-300mm/s (CNC模式)，大合成加速度519mm/s 0-80mm/s (J / S模式：速) 0-3mm/s (J / S模式：低速) 0.05mm/s (J / S模式：*細速度)			各軸8-300mm/s (CNC模式)，合成加速度519mm/s 0-80mm/s (J / S模式：速) 0-3mm/s (J / S模式：低速) 0.05mm/s (J / S模式：細速度)
加速度		各軸 1000mm/s2, 合成加速度 1732mm/s2 2309mm/s2 (Z800型為1732mm/s2)			各軸 980mm/s2, 合成加速度 1697mm/s2			各軸 980mm/s2, 合成加速度 1697mm/s2
分辨力		0.0001mm (0.1μm)			0.0001mm (0.1μm)			0.0001mm (0.1μm)
導(dǎo)向系統(tǒng)		各軸均采用氣浮軸承
測量*度		1200mm			1400mm (Z=1200mm)/1800mm (Z=1600mm）			1800mm
負載		2000kg	2500kg	3000kg	3500kg	4500kg	5000kg	4000kg	5000kg
重量(包括控制裝置和安裝工臺)		4050kg	6150kg	9110kg	10600kg (Z=1200mm)	14800kg (Z=1200mm)	19500kg (Z=1200mm)	14100kg	19400kg
					10650kg (Z=1600mm)	14850kg (Z=1600mm)	19550kg (Z=1200mm)
空氣供給	氣壓	0.4MPa
	消耗量	100L/min 正常情況下 (空氣源: 150L/min)			150L/min 正常情況下 (空氣源: 200L/min)			150L/min 正常情況下 (空氣源: 200L/min)

產(chǎn)品規(guī)格

型號		Crysta-Plus M443	Crysta-Plus M544	Crysta-Plus M574	Crysta-Plus M776	Crysta-Plus M7106
測量范圍	X軸	400mm	500mm		700mm
	Y軸	400mm	400mm	700mm	700mm	1000mm
	Z軸	300mm	400mm		600mm
分辨力		0.0005mm (0.5μm)
度 1,*2 (20oC時)	指示誤差（E）	E= (3.0+4L/1000) *3μm	E= (3.5+4L/1000) *3μm		E= (4.5+4.5L/1000) *3μm
	探測誤差（R）	4.0μm	4.0μm?		5.0μm
導(dǎo)向系統(tǒng)		各軸均采用氣浮軸承
各軸鎖緊裝置		單觸空氣鎖緊裝置 (移動鉗位開關(guān)盒)
各軸*細進給		整個測量范圍內(nèi)的連續(xù)*密進給
測量*度		480mm	595mm		800mm
負載		180kg	180kg		500kg	800kg
重量（包括支架）		410kg	512kg	646kg	1560kg	1800kg
Z軸平衡方式		平衡法碼
空氣供給	氣壓	0.35MPa (空氣源: 0.5 - 0.9MPa)			0.4MPa (空氣源: 0.5 - 0.9MPa)
	消耗量	50L/min 正常情況下 (空氣源: 100L/min)

Mitutoyo三豐三坐標測量機型號價格及維修

產(chǎn)品規(guī)格

型號			STRATO-Apex 776	STRATO-Apex 7106	STRATO-Apex 9106	STRATO-Apex 9166
測量范圍	X軸		700mm		900mm
	Y軸		700mm	1000mm		1600mm
	Z軸		600mm
測量方法			線性編碼器
驅(qū)動速度	CNC模式		驅(qū)動速度: 各軸 8 - 300mm/s (合成加速度: 519mm/s)
			測量速度 1 - 3mm/s
	J/S模式		驅(qū)動速度 0 - 80mm/s
			測量速度 0 - 3mm/s
			*細定位速度 0.05mm/s
驅(qū)動加速度			每軸1500mm/s2 (合成加速度: 2598mm/s2)
分辨力			0.00002mm
可確保*度的溫度環(huán)境	溫度范圍		19 - 21oC
	溫度變化	每小時	1.0K
		每24小時	2.0K
	溫度梯度	垂直/水平	1.0K/m
導(dǎo)向系統(tǒng)			各軸均采用氣浮軸承 (靜壓氣浮軸承)
工作臺	材料		花崗巖
	尺寸 (工作臺表面)		880×1420mm	880×1720mm	1080×1720mm	1080×2320mm
	緊固用螺釘孔		M8×1.25
測量*度			770mm
負載			500kg	800kg	800kg	1200kg
重量 (包括減振平臺和控制器)			1895kg	2180kg	2410kg	3085kg
電源規(guī)格 (包括測頭接口選件)			電源電壓: AC100-120/200-240V ±10%; 電源容量: 700 VA (其中170 VA用于測頭可選接口)
空氣供給	氣壓		0.4 Mpa
	消耗量		60L/min 正常情況下 (空氣源: 至少 120L/min)

產(chǎn)品規(guī)格

型號		LEGEX 574	LEGEX 774	LEGEX 776	LEGEX 9106	LEGEX 12128
測量范圍	X軸	500mm	700mm	700mm	900mm	1200mm
	Y軸	700mm???	700mm	700mm	1000mm?	1200mm
	Z軸	450mm	450mm	600mm	600mm	800mm
測量方法		*線性編碼器
測量速度		200mm/s
加速度		1000mm/s2
分辨力		0.00001mm
度 (JIS B7440-2)1 (2003)	MPEE 【L:測量長度(mm)】	(0.35+L/1000)μm				(0.6+1.5L/1000)μm
	MPEP	0.45μm				0.6μm
	MPETHP	1.4μm				1.8μm
導(dǎo)向系統(tǒng)		各軸均采用氣浮軸承
工作臺	材料	鑄鐵*2
	尺寸	550×750mm	750×750mm	750×750mm	950×1050mm	1250×1250mm
	緊固用螺釘孔	M8x1.25mm (工件固定用)
測量*度		706mm	696mm	867mm	861mm	1056mm
負載		200kg	500kg	500kg	800kg	1000kg
重量		3900kg	5000kg	5100kg	6500kg	10500kg
空氣供給	氣壓	0.4MPa*3			0.5MPa*4	0.4MPa*3
空氣供給	消耗量	120L/min*5 (正常情況下)

產(chǎn)品規(guī)格

型號		Crysta-Plus M443	Crysta-Plus M544	Crysta-Plus M574	Crysta-Plus M776	Crysta-Plus M7106
測量范圍	X軸	400mm	500mm		700mm
	Y軸	400mm	400mm	700mm	700mm	1000mm
	Z軸	300mm	400mm		600mm
分辨力		0.0005mm (0.5μm)
度 1,*2 (20oC時)	指示誤差（E）	E= (3.0+4L/1000) *3μm	E= (3.5+4L/1000) *3μm		E= (4.5+4.5L/1000) *3μm
	探測誤差（R）	4.0μm	4.0μm?		5.0μm
導(dǎo)向系統(tǒng)		各軸均采用氣浮軸承
各軸鎖緊裝置		單觸空氣鎖緊裝置 (移動鉗位開關(guān)盒)
各軸*細進給		整個測量范圍內(nèi)的連續(xù)*密進給
測量*度		480mm	595mm		800mm
負載		180kg	180kg		500kg	800kg
重量（包括支架）		410kg	512kg	646kg	1560kg	1800kg
Z軸平衡方式		平衡法碼
空氣供給	氣壓	0.35MPa (空氣源: 0.5 - 0.9MPa)			0.4MPa (空氣源: 0.5 - 0.9MPa)
	消耗量	50L/min 正常情況下 (空氣源: 100L/min)

產(chǎn)品特點

◇LEGEX系列為*CNC三坐標測量機，具有行業(yè)內(nèi)高水平，對有可能產(chǎn)生誤差的因素進行嚴格分析并消除或程度地降低其影響。
◇固定橋結(jié)構(gòu)和*密空氣軸承在*剛性導(dǎo)軌上運行確保了良好的運動穩(wěn)定性和*幾何*度。采用FEM結(jié)構(gòu)分析模擬的測試了幾何運動*度，使負荷及其它變量波動造成的誤差降。另外，其他多種技術(shù)如*振測量等用于驅(qū)動單元結(jié)構(gòu)中，實現(xiàn)了*。
◇配備有三豐*標尺、熱膨脹系數(shù)幾乎為零的*微晶玻璃尺以及*分辨力、*性能的反射型線性編碼器。為其*性能提供了的位置檢測功能。
◇LEGEX*系列三坐標測量機配有溫度補償功能，因此設(shè)置環(huán)境不需要恒溫控制室，就可以在18-22oC的溫度范圍內(nèi)主機*度。
◇提供豐富的選件，包括觸發(fā)式和非觸發(fā)式測頭，數(shù)據(jù)處理部等支持*測量，如要求*尺寸*度的齒輪、軸承、透鏡、硬模或滾動轉(zhuǎn)子。

產(chǎn)品規(guī)格

型號		LEGEX 574	LEGEX 774	LEGEX 776	LEGEX 9106	LEGEX 12128
測量范圍	X軸	500mm	700mm	700mm	900mm	1200mm
	Y軸	700mm???	700mm	700mm	1000mm?	1200mm
	Z軸	450mm	450mm	600mm	600mm	800mm
測量方法		*線性編碼器
測量速度		200mm/s
加速度		1000mm/s2
分辨力		0.00001mm
度 (JIS B7440-2)1 (2003)	MPEE 【L:測量長度(mm)】	(0.35+L/1000)μm				(0.6+1.5L/1000)μm
	MPEP	0.45μm				0.6μm
	MPETHP	1.4μm				1.8μm
導(dǎo)向系統(tǒng)		各軸均采用氣浮軸承
工作臺	材料	鑄鐵*2
	尺寸	550×750mm	750×750mm	750×750mm	950×1050mm	1250×1250mm
	緊固用螺釘孔	M8x1.25mm (工件固定用)
測量*度		706mm	696mm	867mm	861mm	1056mm
負載		200kg	500kg	500kg	800kg	1000kg
重量		3900kg	5000kg	5100kg	6500kg	10500kg
空氣供給	氣壓	0.4MPa*3			0.5MPa*4	0.4MPa*3
空氣供給	消耗量	120L/min*5 (正常情況下)