MSC/SC1/2 CIF勻膠旋涂儀
- 公司名稱 華儀行（北京）科技有限公司
- 品牌 CIF
- 型號 MSC/SC1/2
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/10/25 15:30:17
- 訪問次數(shù) 8300
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半導(dǎo)體領(lǐng)域儀器設(shè)備：等離子清洗機(jī)、紫外臭氧清洗機(jī)、勻膠機(jī)、烤膠機(jī)等。 理化實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備：酸蒸逆流清洗器、真空趕酸系統(tǒng)、酸純化器、智能消解儀、恒溫電熱板等
產(chǎn)品特點(diǎn)
◆ CIF勻膠旋涂儀采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠均勻。
◆ 7 寸全彩中英文互動(dòng)操作觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配 10 個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設(shè)置） ，可 選配 20 個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置 10 個(gè)勻膠梯度階段，最多 100 個(gè)階段。
◆ 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
◆ 多重安全保護(hù)電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人；
雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。
◆ 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護(hù)，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險(xiǎn)。
◆ 一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。
◆ 符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計(jì)，取放樣品更方便。
◆ 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用 PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器 在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。
◆ 上下雙腔體設(shè)計(jì)，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。
◆ 可選氮?dú)獯祾摺⒌獨(dú)獗Ｗo(hù)，自動(dòng)滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。
◆ CIF勻膠旋涂儀適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。
技術(shù)參數(shù)
型號 | MSC | SC1 | SC2 |
轉(zhuǎn)速 | 0-10000rpm | 0-10000rpm | 0-10000rpm |
加速度 | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s | 0-10000rpm/s |
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 | ±1% | ±1% | ±1% |
勻膠時(shí)間 | 0-9999s | 0-9999s | 0-9999s |
工作艙直徑 | 直徑 180mm | 直徑 180mm | 直徑 240mm |
基片尺寸 | 圓片 Φ=6 吋，方片最大 105x105mm | 圓片 Φ=6 吋，方片最大 105x105mm | 圓片 Φ=8 吋，方片最大 140x140mm |
外型尺寸 | L245xW325xH215mm | L245xW325xH285mm | L305xW385xH285mm |
包裝尺寸 | L365xW445xH335mm | L365xW445xH405mm | L425xW505xH405mm |
整機(jī)重量 | 6.3Kg | 7.6Kg | 11.6Kg |
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