Leybold－萊寶分子泵無法達到極限壓力  

壓力是否因水蒸氣而受限？  

烘烤系統(tǒng)和泵。  

是否任何真空壓力表有污物？  

如果是這樣，應清潔或更換。  

抽取速度是否不足（由于泵和壓力表接觸不良或中間有太大的腔）？  

使其接觸良好或減小體積。  

層間入口壓力是否>(50pa)  

如果層間入口壓力太大，渦輪分子泵上的入口壓力會增大；應確保層間入口壓力<(50 pa)。  

前級壓力是否>10mbar  

如果是這樣，前級壓力可能太大。檢查后備管道是否有泄漏。如果對處理能力要求較高，則可能需要更大的后備泵。  

系統(tǒng)的高真空區(qū)域是否有污物？  

如果是這樣，應清潔高真空系統(tǒng)。  

檢查系統(tǒng)的其它部分是否有泄漏或污物。  

如果發(fā)現(xiàn)有，則應修補泄漏處并清除污物。  

Leybold－萊寶分子泵泵噪音很大或振動過大或兩種情況同時出現(xiàn)  

泵轉(zhuǎn)速與所連接系統(tǒng)的共振頻率是否相同？  

如果是這樣，則應更改系統(tǒng)的固有頻率或使用活動風箱隔離泵。  

震動是從轉(zhuǎn)動的后備泵傳遞過來的嗎？  

如果是這樣，則應在后備線路中安裝活動風箱或隔振器。  

噪音是不是不規(guī)則并且越來

如果是這樣，則表示軸承有瑕

Leybold－萊寶分子泵無法達到極限壓力  

壓力是否因水蒸氣而受限？  

烘烤系統(tǒng)和泵。  

是否任何真空壓力表有污物？  

如果是這樣，應清潔或更換。  

抽取速度是否不足（由于泵和壓力表接觸不良或中間有太大的腔）？  

使其接觸良好或減小體積。  

層間入口壓力是否>(50pa)  

如果層間入口壓力太大，渦輪分子泵上的入口壓力會增大；應確保層間入口壓力<(50 pa)。  

前級壓力是否>10mbar  

如果是這樣，前級壓力可能太大。檢查后備管道是否有泄漏。如果對處理能力要求較高，則可能需要更大的后備泵。  

系統(tǒng)的高真空區(qū)域是否有污物？  

如果是這樣，應清潔高真空系統(tǒng)。  

檢查系統(tǒng)的其它部分是否有泄漏或污物。  

如果發(fā)現(xiàn)有，則應修補泄漏處并清除污物。  

Leybold－萊寶分子泵泵噪音很大或振動過大或兩種情況同時出現(xiàn)  

泵轉(zhuǎn)速與所連接系統(tǒng)的共振頻率是否相同？  

如果是這樣，則應更改系統(tǒng)的固有頻率或使用活動風箱隔離泵。  

震動是從轉(zhuǎn)動的后備泵傳遞過來的嗎？  

如果是這樣，則應在后備線路中安裝活動風箱或隔振器。  

噪音是不是不規(guī)則并且越來

如果是這樣，則表示軸承有瑕

故障現(xiàn)象  

檢查  

操作  

系統(tǒng)通電時，LED沒有閃爍秒  

電源是否出現(xiàn)故障  

確保電源已打開并且保險絲（及限流設(shè)備）未松開。  

發(fā)送并行“啟動”命令后泵不旋轉(zhuǎn)  

檢查電源是否打開并且故障輸出是否活動  

轉(zhuǎn)軸任然不旋轉(zhuǎn)，則表示泵出現(xiàn)故障。  

發(fā)送串行“啟動”命令后泵不旋轉(zhuǎn)  

檢查泵是否回復“啟動”命令  

如果沒有回復，則應檢查串行通信鏈接是否通電并且“串行啟用”是否激活以及電源是否打開。檢查橙色狀態(tài)LED是否閃爍。  

泵在多站模式下不響應  

檢查是否啟用多站模式  

確保泵有多站地址并且使用多站協(xié)議發(fā)送命令。  

橙色狀態(tài)LED閃爍錯誤代碼  

注意每個序列6下閃爍中長閃爍的位置，以解讀錯誤代碼。  

查閱相關(guān)錯誤代碼并按照所提供的說明進行操作  

運行時額定LED不亮或泵沒有以全速旋轉(zhuǎn)或泵出現(xiàn)故障  

入口壓力是否過高？  

如果是這樣，應減小抽取負載或檢查系統(tǒng)是否有大泄漏。  

泵運行時是否太熱？  

增加泵的冷卻?？赡苄枰獜耐L冷卻變成水冷?？赡苄枰龃罄鋮s水流量或降低水溫或同時采取這兩種措施。檢查外部熱源確保沒有輻射過多熱量。  

轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)是否順暢？  

如果不是，泵軸承可能已損壞。  

Leybold－萊寶分子泵無法達到極限壓力  

壓力是否因水蒸氣而受限？  

烘烤系統(tǒng)和泵。  

是否任何真空壓力表有污物？  

如果是這樣，應清潔或更換。  

抽取速度是否不足（由于泵和壓力表接觸不良或中間有太大的腔）？  

使其接觸良好或減小體積。  

層間入口壓力是否>(50pa)  

如果層間入口壓力太大，渦輪分子泵上的入口壓力會增大；應確保層間入口壓力<(50 pa)。  

前級壓力是否>10mbar  

如果是這樣，前級壓力可能太大。檢查后備管道是否有泄漏。如果對處理能力要求較高，則可能需要更大的后備泵。  

系統(tǒng)的高真空區(qū)域是否有污物？  

如果是這樣，應清潔高真空系統(tǒng)。  

檢查系統(tǒng)的其它部分是否有泄漏或污物。  

如果發(fā)現(xiàn)有，則應修補泄漏處并清除污物。  

Leybold－萊寶分子泵泵噪音很大或振動過大或兩種情況同時出現(xiàn)  

泵轉(zhuǎn)速與所連接系統(tǒng)的共振頻率是否相同？  

如果是這樣，則應更改系統(tǒng)的固有頻率或使用活動風箱隔離泵。  

震動是從轉(zhuǎn)動的后備泵傳遞過來的嗎？  

如果是這樣，則應在后備線路中安裝活動風箱或隔振器。  

噪音是不是不規(guī)則并且越來

如果是這樣，則表示軸承有瑕

越糟糕？  

疵。  

泵是不是發(fā)出持續(xù)的嘯叫？  

如果是這樣，則表示轉(zhuǎn)軸失衡。