INFICON BPG402-S復合真空計, 將兩個真空計復合在一個小型單元中, 測量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓).復合技術降低了安裝,設置和集成的復雜性. 帶兩根涂敷氧化釔的銥燈絲的BPG402-S 用于可及的和可再現(xiàn)的過程, 在一個經(jīng)濟的真空計組件中執(zhí)行基本的壓強測量. 傳感元件和在機校準數(shù)據(jù)保證當更換傳感器時的高度再現(xiàn)性.

INFICON BPG402-S復合真空計優(yōu)勢：

極寬的測量范圍從 5 x 10-10 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-10 乇至大氣壓)

過程壓強范圍從 10-8 … 10-2 毫巴,再現(xiàn)性 5%

皮拉尼聯(lián)鎖保護防止燈絲過早燒毀

兩根涂敷氧化釔的長壽命銥燈絲

可選圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口, 例如以太網(wǎng)

自動高真空皮拉尼調整減少操作人員的干預

易于更換傳感元件和在機校準數(shù)據(jù)保證高的再現(xiàn)性

RoHS 兼容性

INFICON BPG402-S復合真空計用途：

在半導體過程和傳送室中的壓強測量

工業(yè)鍍膜

在低至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

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