520HE 納米壓印 EVG 520HE 熱壓印系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 520HE 納米壓印
- 產(chǎn)地 奧地利
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/9/25 14:35:33
- 訪問次數(shù) 1317
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EVG 520HE 熱壓印系統(tǒng)通用生產(chǎn)驗證的熱壓花系統(tǒng)，可滿足高要求。
技術數(shù)據(jù)
EVG520 HE半自動熱壓花系統(tǒng)設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。 EVG的這種經(jīng)過生產(chǎn)驗證的系統(tǒng)可以接受直徑大為200 mm的基板，并且與標準的半導體制造技術兼容。熱壓花系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能，并管理適用于熱壓花的整個聚合物范圍。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項，提供了許多用于高質量圖案轉印和納米分辨率的工藝。
特征
用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓花和納米壓印應用
自動化壓花工藝
EVG專有的獨立對準工藝，用于光學對準的壓印和壓印
氣動壓花選項
軟件控制的流程執(zhí)行
技術數(shù)據(jù)
加熱器尺寸150毫米200毫米
大基板尺寸150毫米200毫米
小基板尺寸單芯片100毫米
大接觸力10、20、60、100 kN
高溫度：標準：350°C；可選：550°C
粘合卡盤系統(tǒng)/對準系統(tǒng)：150毫米加熱器：EVG®610，EVG®620，EVG®6200
200毫米加熱器：EVG®6200，MBA300，SmartView®NT
真空：標準：0.1毫巴； 可選：0.00001 mbar
采購中心
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