MicroChem環(huán)氧樹脂抗蝕劑由化學(xué)放大的環(huán)氧基負(fù)性抗蝕劑組成，它們具有高度功能性，光學(xué)透明性和   可接近UV（365nm）輻射的可成像。固化膜或微結(jié)構(gòu)是對溶劑非常抵扣的，酸和堿以及具有優(yōu)異的熱穩(wěn)   定性和機(jī)械穩(wěn)定性，如像素墻，流體通道和噴嘴，微陣列和間隔。

涂層

SU-8 2000抗蝕劑有十二種標(biāo)準(zhǔn)粘度。 本加工指南文件涉及四種產(chǎn)品：SU-8 2025，SU-8 2035，SU-8 2050和SU-82075。

提供選擇合適的SU-8 2000抗蝕劑和旋轉(zhuǎn)條件以實現(xiàn)所需膜厚所需的信息。

*

1.）為基板直徑的每英寸（25毫米）分配1ml的抗蝕劑。

2.）以100 rpm /秒的加速度在500 rpm下旋轉(zhuǎn)5-10秒。

3.）以300 rpm /秒的速度在2000 rpm下旋轉(zhuǎn)30秒。