IH-860DSIC 半導(dǎo)體設(shè)備離子注入機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 青島泰斯邁儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 IH-860DSIC
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2021/10/11 10:54:12
- 訪問次數(shù) 512
產(chǎn)品標簽
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子 |
|---|
配備高溫ESC的SiC量產(chǎn)用高能離子注入裝置。
特長
·可以自動連續(xù)高溫處理注入
·1價離子可注入350keV，2價離子可注入700keV（可選擇1價離子可注入430keV，2價離子可支持860keV）
·在雙端站實現(xiàn)高吞吐量（A系4“高溫ESC/B系3”高溫ESC、A系6“高溫ESC/B系6”常溫ESC等，可根據(jù)客戶的要求構(gòu)建規(guī)格）
·可以進行鏈條注入，減輕操作員的負荷
·小型設(shè)計
·從試作到量產(chǎn)可以廣泛對應(yīng)
特長
·可以自動連續(xù)高溫處理注入
·1價離子可注入350keV，2價離子可注入700keV（可選擇1價離子可注入430keV，2價離子可支持860keV）
·在雙端站實現(xiàn)高吞吐量（A系4“高溫ESC/B系3”高溫ESC、A系6“高溫ESC/B系6”常溫ESC等，可根據(jù)客戶的要求構(gòu)建規(guī)格）
·可以進行鏈條注入，減輕操作員的負荷
·小型設(shè)計
·從試作到量產(chǎn)可以廣泛對應(yīng)
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