| 靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 | 靶材尺寸 | 50mm |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
| 濺射氣體 | 根據(jù)需求氣體 | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 樣品臺尺寸 | φ50mm |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池 |
小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD
離子濺射儀功能：
一個更加廣泛的選擇由于全自動直流離子濺射儀在制樣過程中被提供給了掃描電鏡用戶，從而為掃描電子顯微鏡所需的涂層要求的適用提供了支持。在結(jié)構(gòu)設(shè)計及人機(jī)界面方面簡單智能，對人性更加的注重。一個低成本的解決方案由于離子濺射儀對SEM樣品常規(guī)適用黃金濺射被提供了，與此同時能夠利用對金、鉑、銥、銀、銅等不同的靶材的更換來使得更細(xì)顆粒的涂層達(dá)到。與此同時，利用智能的人機(jī)界面對儀器的控制更加的方便、簡單以及精確，與此同時，能夠?qū)﹀儗雍穸冗M(jìn)行估算，對真空實時顯，濺射電流對濺射時間進(jìn)行設(shè)定，對靶材的剩余情況進(jìn)行計算。
離子濺射儀在掃描電鏡（SEM）的樣品噴金方便為專用的儀器，樣品的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性可以非常有效的提供，使恒沉積速率得到確保，使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少，使掃描電鏡觀測結(jié)果得到了較為顯著的提高。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 彩色觸摸屏：數(shù)據(jù)輸入簡單快速
• 通過觸摸屏中直觀檢測數(shù)據(jù)和曲線；歷史頁面可顯示歷史涂層信息。
• 可控鍍膜速率，可得到更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)
• 可手動或自動，根據(jù)時間或根據(jù)厚度進(jìn)行濺射
• 樣品臺更換簡單：標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn)；行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。
小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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