Inficon CDG100D電容膜片式真空計(jì) 3CD1-95E-230B

INFICON SKY CDG100D 真空計(jì)是用于高精度總壓強(qiáng)測(cè)量和控制的選擇. CDG100D真空計(jì)是在 100°C 下溫度控制的, 在要求高的半導(dǎo)體和等離子過(guò)程中具有的性能。可供應(yīng)的真空計(jì)包括全量程范圍從 100 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法蘭型號(hào)和現(xiàn)場(chǎng)總線接口和提供線性 0至 10 伏, 與氣體類型無(wú)關(guān)的壓強(qiáng)訊號(hào)。 INFICON 電容真空計(jì)采用抗腐蝕的超純氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)勢(shì)是更好的訊號(hào)穩(wěn)定性, 快速地從大氣壓恢復(fù), 短的預(yù)熱時(shí)間和超長(zhǎng)的使用壽命。 INFICON CDG 是高質(zhì)量, 高效益的壓強(qiáng)傳感器用于高要求的半導(dǎo)體,等離子和真空應(yīng)用。

優(yōu)勢(shì)：

擁有成本低, 預(yù)熱快 50%, 能效高,低功耗

易集成,規(guī)格齊全的全量程, 法蘭和接口, 標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)有兩個(gè)設(shè)點(diǎn)

簡(jiǎn)易的一鍵按鈕或運(yùn)距訊號(hào)調(diào)零指令,零點(diǎn)偏移可調(diào)整

診斷口用于快速服務(wù)和維護(hù)

兩年保用期,帶有優(yōu)秀的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)的長(zhǎng)使用壽命

由于訊號(hào)穩(wěn)定性和再現(xiàn)性, 即使在嚴(yán)酷的等離子

應(yīng)用中也無(wú)長(zhǎng)期再校準(zhǔn)的需要

兼容性和標(biāo)準(zhǔn): CE, EN, UL, SEMI, RoHS

用途：

刻蝕, PVD, CVD 和其它半導(dǎo)體過(guò)程

化學(xué)和腐蝕性的高溫過(guò)程

一般薄膜和真空過(guò)程要求的真空計(jì)保護(hù)

訂貨號(hào)：

Inficon CDG100D電容膜片式真空計(jì) 3CD1-95E-230B