MKS LVF3560A MKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 江蘇神州半導(dǎo)體科技有限公司
品牌 MKS/美國(guó)
型號(hào) MKS LVF3560A
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時(shí)間 2024/6/2 16:01:47
訪問次數(shù) 647

產(chǎn)品標(biāo)簽

MKS LVF3560A 高頻射頻電源 RF Generator 射頻發(fā)生器

在線交流發(fā)送詢價(jià) 進(jìn)入商鋪同類產(chǎn)品

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

神州科技是中國(guó)地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)線電源系統(tǒng)服務(wù)廠商,位于江蘇省揚(yáng)州市維揚(yáng)開發(fā)區(qū),現(xiàn)有員工300人,工程師230人,模擬測(cè)試線20條，已建成完整全面的高精度,高功率：直流、射頻、微波、網(wǎng)絡(luò)匹配器、遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器等綜合測(cè)試平臺(tái)，是國(guó)家火炬計(jì)劃項(xiàng)目《等離子電源研發(fā)，應(yīng)用平臺(tái)建設(shè)》承接單位。公司業(yè)務(wù)遍及亞洲，于日本、新加坡、韓國(guó)分設(shè)辦事處。

神州科技為芯片產(chǎn)線，光伏產(chǎn)線，液晶面板制造產(chǎn)線，工業(yè)玻璃鍍膜產(chǎn)線，LED新光源產(chǎn)線，以及醫(yī)療、科研真空，各類高科技產(chǎn)業(yè)等離子系統(tǒng)提供電源系統(tǒng)的維修，備件支持，設(shè)備租憑服務(wù)。神州團(tuán)隊(duì)嚴(yán)謹(jǐn)創(chuàng)新，高效熱誠(chéng)，服務(wù)世界半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

展開

電源維修，二手電源設(shè)備銷售，直流電源，射頻電源，脈沖電源，自動(dòng)網(wǎng)絡(luò)匹配器，遠(yuǎn)程等離子發(fā)生器，分子泵離子泵，干泵冷泵

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

供貨周期	現(xiàn)貨	貨號(hào)	LVF3560A-10B-05
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,電氣,綜合	主要用途	RF GENERATOR

MKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W RF Generator是經(jīng)過長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有穩(wěn)定輸出能力的高性能高頻射頻電源，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制。MKS LVF系列射頻電源有優(yōu)秀的成膜能力，廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中。MKS 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計(jì)，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅(jiān)固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。

MKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS

設(shè)備型號(hào)：LVF3560A

AC 電源輸入：3 phase~ /PE，200~208V，30A，50/60Hz

RF 射頻輸出：60MHz，3500W

通信接口：Analog I/O，RS-232C，Remote Panel

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：水冷流速 2gal/min（7.5L/min），水流溫度 5℃~35℃，MAX水冷壓力 60PSI/414kPa

設(shè)備重量：32kg（70lbs）