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            UV-Writer 無掩膜光刻機, 激光直寫系統(tǒng)

            參考價 800000
            訂貨量 ≥1
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            • 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
            • 品牌 其他品牌
            • 型號 UV-Writer
            • 產(chǎn)地 美國
            • 廠商性質(zhì) 代理商
            • 更新時間 2025/2/27 16:39:21
            • 訪問次數(shù) 2580

            聯(lián)系方式:張垚查看聯(lián)系方式

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            科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理。科睿公司一貫秉承『誠信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學研究、薄膜材料(包括半導體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達國家*接軌的儀器設(shè)備平臺來實現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
                  科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,在中國上海設(shè)立了分公司,在國內(nèi)多個城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,同時提供在大陸的各項技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國外廠家進行了專門的培訓。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應(yīng),72小時內(nèi)趕到現(xiàn)場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務(wù)!
                  因為信任,所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經(jīng)為國內(nèi)眾多科研院所和大學根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導體所,中科院大連化學物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學,清華大學,中國科技大學,南京大學,復旦大學,上海交通大學,華東理工大學,浙江大學,中山大學,西安交通大學,四川大學,中國工程物理研究院,香港大學,香港城市大學,香港中文大學,香港科技大學等。



            光刻機,鍍膜機,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)

            無掩膜光刻機, 激光直寫系統(tǒng)

            直接激光直寫光刻

            直接激光光刻技術(shù)通過消除光掩模生產(chǎn)對外部供應(yīng)商的依賴,大大降低了微流體、微電子、微機械和材料科學研究等領(lǐng)域的成本和執(zhí)行時間。


            無掩膜光刻機, 激光直寫系統(tǒng),其控制軟件在PC上提供。它允許您從GDSII文件的單元格或直接從PNG圖像導入要寫入的設(shè)計。

            一切都是通過一個用戶友好的圖形界面來完成的,它允許您在執(zhí)行之前預覽要編寫的設(shè)計。

            除了對每個設(shè)計應(yīng)用旋轉(zhuǎn)、反射、反轉(zhuǎn)或比例調(diào)整等變換外,還可以在單個過程中組合多個設(shè)計。

            在確定了設(shè)計方案后,采用了所包含的工作臺控制模塊和共焦顯微鏡。

            使用它們,您可以設(shè)置基片上工藝的原點位置和感光表面上的焦平面。

            接下來執(zhí)行該過程并將設(shè)計寫在表面上。


            技術(shù)指標:

            XY工作臺

            典型寫入速度:100-120 mm/s

            最大面積:100x92 mm^2

            最小面積:沒有最小面積

            單向定位臺階:X=0.16µm,Y=1.00µm

            慢速X軸上的機械噪聲:<1µm

            快速Y軸上的機械噪聲:<1µm

            多層對準精度:5-10µm(可選旋轉(zhuǎn)臺,便于對準)

            實際最小特征尺寸:6-15µm,取決于特征(示例見下圖)

            軟件

            支持的格式:PNG、GDSII

            在軟件轉(zhuǎn)換:,旋轉(zhuǎn)、反射、反轉(zhuǎn)、重縮放、添加邊框

            -可以在一個進程中編寫來自不同文件的多個設(shè)計

            -通過3點線性或4點雙線性聚焦測量進行傾斜/翹曲基板補償

            -全床曲率補償?shù)木W(wǎng)格型標定

            光學

            -激光波長:405nm(可選375nm

            -激光聚焦、對準和檢測用共焦顯微鏡

            -二次獨立黃色照明

            -激光光斑尺寸可以使用工業(yè)標準顯微鏡物鏡改變

            精度:

            -精細:0.8µm

            -介質(zhì):2µm

            -粗粒:5µm

            大面積包含目標的有效書寫速度(單向書寫):

            -精細:1.7 mm^2/min

            -中等:4.25 mm^2/min

            -粗糙度:10.6 mm^2/min

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