善時(shí)掃描電子顯微鏡SS-60系列

SS-60  系列產(chǎn)品作為基礎(chǔ)款臺(tái)式掃描電鏡，能滿足大部分用戶的基本實(shí)驗(yàn)需求，配置 SE 二次電子探測(cè)器與 BSE 背散射電子探測(cè)器，載物平臺(tái)可配置三軸（X,Y,R）手動(dòng)平臺(tái)，也可升級(jí)為五軸（X,Y,R,Z,T）自動(dòng)平臺(tái)，全系列產(chǎn)品均可配置 EDS 能譜分析儀。

掃描電子顯微鏡已廣泛用于材料科學(xué)（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。

自動(dòng)/手動(dòng)掃描電鏡

掃描電鏡SS-60系列是一種用于放大并觀察物體表面結(jié)構(gòu)的電子光學(xué)儀器。產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，高低壓真空設(shè)計(jì)，可調(diào)試電壓，為不同樣品提供更合適的檢測(cè)環(huán)境。

概況

掃描電子顯微鏡的英文全稱為Scanning Electron Microscope,簡(jiǎn)稱掃描電鏡或者SEM。掃描電鏡是一種用于放大并觀察物體表面結(jié)構(gòu)的電子光學(xué)儀器。掃描電鏡由鏡筒、電子信號(hào)的收集和處理系統(tǒng)、電子信號(hào)的顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)等組成，具有放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點(diǎn)。

軟件特性

臺(tái)式電鏡，體形小巧，占用空間??；

強(qiáng)大的軟件功能，單窗口操作界面讓用戶操作方便簡(jiǎn)單；

軟件實(shí)現(xiàn)檢測(cè)圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ)；

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，易于維護(hù)及保養(yǎng)；

自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式，迅速定位待測(cè)樣品；

高低壓真空設(shè)計(jì)，可調(diào)試電壓，為不同樣品提供更合適的檢測(cè)環(huán)境

產(chǎn)品說明：

(1 )放大倍率是6萬倍；

(2 )采用二次電子和背散射電子兩種探測(cè)器；

(3)加速電壓有1KV、5KV、10KV、15KV、20KV、30KV可選，圖像分辨率高;

(4 )通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析;

(5 )選配冷卻臺(tái)可在無前置處理的情況下對(duì)水分進(jìn)行采樣分析;

(6 )高/低真空的配置可縮短前處理過程；

(7 )選配CCD攝像頭可實(shí)時(shí)觀察載物臺(tái)內(nèi)部；

產(chǎn)品說明：

（1）放大倍率6萬倍（Magnification Max 60,000 X）；

（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測(cè)器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）；

（3）5kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）；

（4）通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；

（5）Tilt（0~90）載物臺(tái)配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）。

產(chǎn)品特性：

（1）臺(tái)式掃描電子顯微鏡，體型小巧，占用空間小；

（2）強(qiáng)大的軟件功能，單窗口操作界面，讓用戶操作方便簡(jiǎn)單；

（3）軟件實(shí)現(xiàn)檢測(cè)圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ)；

（4）掃描電子顯微鏡產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，易于維護(hù)及保養(yǎng)；

（5）自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式,迅速定位待測(cè)樣品。

善時(shí)掃描電子顯微鏡SS-60系列技術(shù)參數(shù)：

分辨率

15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率

30~60,000 X

加速電壓

5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)

圖像檢測(cè)

二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SE+BSE)

觀察模式

Standard Mode

Charge-up reduction mode

電子槍系統(tǒng)

燈絲類型

預(yù)對(duì)中鎢燈絲

偏壓系統(tǒng)

自動(dòng)偏壓方式

電子槍校正

手動(dòng)方式

透鏡構(gòu)成

聚光鏡

2段式磁線圈透鏡

物鏡

1段式磁線圈透鏡

探測(cè)器類型

SE Detector/ BSE Detector

載物臺(tái)系統(tǒng)

自動(dòng)或者手動(dòng)

載物臺(tái)移動(dòng)

3軸（X，Y，R）或5軸（X，Y，R，Z，T）

圖像偏移

Image shift X, Y Image Shift (±150μm)

樣品尺寸

高度40mm時(shí)直徑70mm

圖像掃描

快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自動(dòng)功能

自動(dòng)啟動(dòng)，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)

圖像存儲(chǔ)格式

BMP, JPEG, PNG,TIFF

數(shù)據(jù)顯示

放大倍率，探測(cè)器類型，電壓，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等

真空系統(tǒng)

高真空模式

（旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

抽真空時(shí)間：3分鐘以內(nèi)

操控系統(tǒng)

鼠標(biāo)和鍵盤

PC：臺(tái)式電腦（Desk Top）    

軟件

圖像文件打開，編輯，存儲(chǔ)功能長(zhǎng)度，面積，角度等測(cè)量功能,設(shè)置數(shù)初始化，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換，Archives, Setting(EDS)模式等

體積

設(shè)備主機(jī)-410(W)×660(D)×600(H)mm

外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm

重量

95kg

設(shè)備環(huán)境

溫度：15℃~30℃

濕度：70% or less

電源：Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz

預(yù)對(duì)中鎢燈絲Pre Centered tungsten filament    5 pcs/box

載物臺(tái)（Sample Stage）

高度基準(zhǔn)模塊(Height standardmaster)   1ea