RTP-SA-12 半自動快速退火爐
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 東莞市晟鼎精密儀器有限公司
- 品牌 晟鼎
- 型號 RTP-SA-12
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/2/4 13:45:02
- 訪問次數(shù) 663
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 溫度范圍 | 室溫~1250℃ | 最高升溫速度 | ≤25℃/s（SiC載盤） |
|---|---|---|---|
| 溫控方式 | 快速PID溫控 | 溫度控制重復(fù)性 | ±1℃ |
半自動快速退火爐RTP-SA-12是在保護(hù)氣氛下的半自動立式快速退火系統(tǒng)，可兼容4-12英寸晶圓Wafer。
半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢
?采用紅外鹵素?zé)艄芗訜?，冷卻采用風(fēng)冷；
?快速PID溫控，可精準(zhǔn)控制溫度升溫，保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性；
?采用平行氣路進(jìn)氣方式，氣體進(jìn)出口設(shè)置在晶圓表面，避免退火過程中冷點產(chǎn)生，保證良好的溫度均勻性；
?大氣與真空處理方式均可選擇，實現(xiàn)進(jìn)氣前氣體凈化處理；
?標(biāo)配兩組工藝氣體，最多可擴(kuò)展至6組工藝氣體。
晟鼎精密核心產(chǎn)品系列有接觸角測量儀、等離子清洗機(jī)、USC干式超聲波除塵清洗機(jī)、離子靜電消除裝置、半導(dǎo)體快速退火爐等表面性能處理及檢測儀器設(shè)備。
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