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            產(chǎn)品展廳

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            M+100CD 勻膠機(jī)

            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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            半導(dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體材料、電子產(chǎn)品、機(jī)械零配件、儀器儀表、專用機(jī)床、力學(xué)、測量檢測設(shè)備、化學(xué)拋光設(shè)備的技術(shù)開發(fā)及服務(wù);薄膜電路生產(chǎn);光纖照明設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備的生產(chǎn)及銷售.(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動)

            勻膠機(jī),顯影劑,噴膠機(jī)

                IC半導(dǎo)體、LED、Bumping、化合物、光通訊、OLED、MEMS等 Wafer Size 晶圓尺寸:Φ2"-8"
                Spin motor主軸轉(zhuǎn)速:0-8000rpm±1rpm
               Uniformation膜厚均勻性:<1%(參考AZ1500)
              Temperation溫度均勻性:0-250℃±0.5℃                                                      
                MTBF:≥1500小時(shí)Uptime:95%                                                                                        
            二、涂膠單元 Coater Uint:     膠盤:Teflon,Delrin
               可編程移動式滴膠
               可配3路噴嘴
               正/背面去邊清洗
               主軸電機(jī):伺服電機(jī)(高速:8000rpm)
               勻膠溫度控制(選配)
               噴嘴預(yù)清洗(選配)
               環(huán)境溫濕度控制(選配)
            三、顯影單元 Developer:                                                                
                 膠盤:Delrin
               4路噴液(2 spray,1 streaam, 1 Dl water)
               主軸電機(jī):伺服電機(jī)(高速:8000rpm)
               背面清洗
               滴液方式:膠泵或壓力罐
               液體溫度控制(選配)
               排風(fēng)控制
               體積尺寸:1400mm(W)×1400mm(D)×1700mm(H)


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