薄膜厚度橢偏儀
- 公司名稱 北京伊微視科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2024/3/15 13:28:31
- 訪問(wèn)次數(shù) 182
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| 測(cè)量重復(fù)性 | 2nm | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 單次測(cè)量時(shí)間 | 1s | 光斑尺寸 | 0.8x19 毫米(可提供其他光斑尺寸)mm |
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 膜厚測(cè)量準(zhǔn)確度 | 0- 5umnm |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 | 直射測(cè)量準(zhǔn)確度 | 波長(zhǎng)280-950nm° |
Film Sense 多波長(zhǎng)橢偏儀通過(guò)簡(jiǎn)單的 1 秒測(cè)量，可以以的精度和精度測(cè)定大多數(shù)透明薄膜的薄膜厚度和折射率并對(duì)許多樣品進(jìn)行光學(xué)常數(shù) n&k 等薄膜性質(zhì)的測(cè)量。多波長(zhǎng)薄膜厚度橢偏儀提供了強(qiáng)大的薄膜測(cè)量功能售價(jià)只是單一波長(zhǎng)橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。Film Sense 偏儀非常適合在研究實(shí)驗(yàn)室教室，現(xiàn)場(chǎng)處理室，工業(yè)質(zhì)量控制等等。
主要特點(diǎn):
1、多個(gè)LED 光源(4或6，波長(zhǎng)280-950nm，視系統(tǒng)而定)。
2、一體化設(shè)計(jì)，橢偏儀探測(cè)器中無(wú)可移動(dòng)部件。
3、具有良好的厚度精度，對(duì)多個(gè)樣品的厚度優(yōu)于 0.001 nm(1 秒鐘，甚至對(duì)于亞單層膜的厚度也優(yōu)于0.001 nm。
4、可通過(guò)現(xiàn)代計(jì)算機(jī)，筆記本電腦或平板電腦 Web 瀏覽器界面直接訪訪問(wèn)軟件頁(yè)面，用于儀器控制和數(shù)據(jù)分析。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、壽命長(zhǎng)(>50,000小時(shí))，沒(méi)有耗時(shí)的對(duì)準(zhǔn)或PM程序
2、快速測(cè)量時(shí)間(10ms內(nèi)的多波長(zhǎng)數(shù)據(jù))和長(zhǎng)期可靠性
3、只有橢偏儀才有的測(cè)量精度
4、沒(méi)有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護(hù)
案例：
Film Sense 多波長(zhǎng)偏儀在測(cè)量透明單層薄膜的厚度和折射率方面表現(xiàn)出色。上限厚度取決于薄膜厚度橢偏儀系統(tǒng)(通常為 2-5 微米)， 但也取決于基底和薄膜的光學(xué)常數(shù)。與任何偏儀系統(tǒng)一樣， 為了獲得準(zhǔn)確的折射率測(cè)量結(jié)果，需要有最小薄膜厚度(通常為 10 納米)。
光吸收薄膜也可以被測(cè)量，但數(shù)據(jù)分析變得更加復(fù)雜，因?yàn)樾枰∧さ墓鈱W(xué)常數(shù)(折射率 n 和消光系數(shù)K值)。Film Sense 軟件包含了多種確定n 和值的方法:1)多樣品分析，2)聯(lián)合偏儀+透測(cè)量，和3)色散模型。對(duì)于吸收薄膜，上限厚度強(qiáng)烈依賴于材料的類型 ， 對(duì)于金屬薄膜，上限通常為50納米。
多波長(zhǎng)偏儀還可以用于測(cè)量多層膜堆疊 (在某些情況下可達(dá) 5層)，這取決于各層的厚度和折射率?？梢栽?Film Sense 軟件中進(jìn)行模擬，以確定特定樣品結(jié)構(gòu)是否可行。對(duì)于某些樣品，還可以表征薄膜中的表面粗糙度和折射率梯度。
特點(diǎn)和規(guī)格
精確測(cè)量厚度范圍為0- 5um 的大多數(shù)透明薄膜
典型的厚度重復(fù)性: 0.015 nm
集成聚焦探頭，標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸: 0.8x19 毫米(可提供其他光斑尺寸)
電動(dòng)Z型載物臺(tái)用于樣品自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)
靈活的掃描模式編輯器
測(cè)量參數(shù)的等高線圖和3D圖。
具有6個(gè)波長(zhǎng)的橢圓測(cè)量數(shù)據(jù) (405、450、525、660、850、950納米)采用長(zhǎng)壽命 LED 光源，無(wú)移動(dòng)部件的探測(cè)器
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