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            產(chǎn)品展廳

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            PEPS II TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)

            參考價(jià)50000-200000/件
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 公司名稱 努美(北京)科技有限公司
            • 品牌TMC
            • 型號(hào)PEPS II
            • 所在地北京市
            • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
            • 更新時(shí)間2024/12/6 13:46:15
            • 訪問次數(shù) 1046

            聯(lián)系方式:努美科技查看聯(lián)系方式

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            自2013年以來,努美(北京)科技有限公司一直在研發(fā)和制造光源儀器,我們的光源被各領(lǐng)域的科研人員和專業(yè)工程師使用,為了解決更前沿的應(yīng)用,使用者需要更為精確的光源,這正是我們的創(chuàng)造的動(dòng)力和方向。

            憑借光學(xué)、電子工程、機(jī)械工程團(tuán)隊(duì),我們創(chuàng)造了國產(chǎn)更為真實(shí)的太陽光。這意味著您在使用太陽光模擬器過程中都能獲得準(zhǔn)確的結(jié)果。為了讓儀器變得更簡單高效,我們選擇更好的材料和技術(shù)與研究人員不斷變化的需求相結(jié)合。

            產(chǎn)品主要涵蓋:太陽光模擬器、大面積太陽光模擬、能流密度太陽能光熱模擬、LED太陽光模擬器、陽光模擬、高速照明系統(tǒng)、氙燈光源、均勻光源、BRDF/BTDF透反射率測試系、定制太陽光模擬器等產(chǎn)品。

            產(chǎn)品已經(jīng)廣泛使用在大學(xué)、科研機(jī)構(gòu)、國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)中。產(chǎn)品滿足了各類應(yīng)用的需求,同時(shí)我們也擁有專業(yè)技術(shù)和售后團(tuán)隊(duì),努力為客戶提供從可行性研究到項(xiàng)目具體實(shí)施的支持,為客戶提供可靠且具有針對性的產(chǎn)品及售前售后服務(wù)。

             

             

             

             

             

             

             

             

             

             

             

             

            大面積太陽模擬器,高功率太陽光模擬器,聚光太陽光模擬器,高度準(zhǔn)直太陽模擬器,LED太陽光模擬器,高速照明系統(tǒng),老化光源,能量密度光源

            產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
            應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,綜合

            TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II

            PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密電子定位系統(tǒng))基礎(chǔ)上并對其進(jìn)行了改進(jìn)。通過添加新的數(shù)字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,還有一個(gè)改進(jìn)的用戶界面。PEPS II是一種用于TMC氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的數(shù)字非接觸式高度控制系統(tǒng)。這種系統(tǒng)通常包括機(jī)械高度閥和機(jī)械高度傳感連桿。其應(yīng)用包括需要改善穩(wěn)定時(shí)間和提高產(chǎn)量的半導(dǎo)體制造設(shè)備以及需要最佳噪聲性能和平臺(tái)穩(wěn)定性的精密實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

            TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)

            TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II特點(diǎn)

            ●數(shù)字控制,用戶友好的LCD界面

            ●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系統(tǒng)的非接觸式電動(dòng)氣動(dòng)高度控制

            Z軸位置重現(xiàn)性:10微米

            ●由于消除了傳統(tǒng)機(jī)械高度控制系統(tǒng)的杠桿接觸點(diǎn),從而改善了隔振效果

            ●氣動(dòng)前饋功能最大限度地減少了Z軸對X-Y平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的反應(yīng)

            ●可以調(diào)整以快速穩(wěn)定由X-Y平臺(tái)引起的運(yùn)動(dòng)

            ●可選的“VX”功能集成了慣性傳感器,用于主動(dòng)阻尼垂直隔振器共振

            ●與“軟塢站”兼容。允許在沒有運(yùn)動(dòng)安裝的情況下加載/卸載晶圓

            ●相稱的電子閥門。“開關(guān)”或傳統(tǒng)電子閥不會(huì)產(chǎn)生脈沖噪聲

            ●排氣管用于廢氣的清潔處理

            ●邏輯??靠刂坪蜖顟B(tài)


            規(guī)格

            物理尺寸

            PEPS II控制器

            1.72英寸(43.7mm)高 x 8.0英寸(203mm)寬 x 9.4英寸(240 mm)深

            重量

            PEPS II控制器:約3.0磅(1.2千克)

            環(huán)境
            (參見EN 61010-1:1993,
            EN 61010-1/A2: 1995)

            僅限室內(nèi)使用,最高2,000米海拔(6560英尺)
            最大允許溫度范圍:5°C至35°C
            最大允許濕度:31°C以下時(shí)為80%,40°C時(shí)線性降至50%相對濕度
            主電源電壓容差:85 VAC - 240 VAC
            過電壓類別:2
            污染等級(jí)(IEC 664):2
            通風(fēng)要求:兩側(cè)間隙25毫米,上下間隙0毫米

            電源要求

            電源輸入電壓范圍:90-230 VAC
            輸入頻率范圍:50-60 Hz

            PEPS II用戶界面
            (前面板)

            電源開關(guān)
            4個(gè)菜單按鈕
            LCD顯示20 x 2個(gè)字符
            2個(gè)診斷插座(BNC型)
            三色狀態(tài)指示燈
            USB 端口

            PEPS II 界面
            (后面板)

            帶EMI濾波器的交流電源輸入
            1個(gè)空氣輸入卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道
            1個(gè)空氣輸出(排氣)卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道
            4個(gè)空氣卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道(每個(gè)隔振器一個(gè))
            DB-25公頭輸入端-輸出端和前饋插座
            1個(gè)Phoenix 0.2英寸間距6引腳綠色接頭(垂直接近傳感器)
            1個(gè)Phoenix 3.5毫米間距6引腳黑色接頭(水平接近傳感器)
            接地螺紋螺柱(#10-32螺紋)
            DB-25 F插座:1個(gè)數(shù)字輸入端,3個(gè)地震檢波器傳感器接口(“-VX”選件)
            DB-25 F插座:1個(gè)數(shù)字輸入端,3個(gè)電流輸出接近傳感器(可選)

            PEPS II
            性能規(guī)格

            模擬輸入(單極):8 x 12位(16位使用過采樣),0 ... 3.0 V滿量程
            模擬輸入(前饋):5 x 12位
            (16位使用過采樣),±9 V滿量程
            模擬輸入(單極)保護(hù):+5伏,-0.5 V限幅
            模擬輸入(前饋)保護(hù):±15伏限幅
            模擬輸出:4 x 12位(16位使用采樣),0 ... 3.0 V滿量程
            模擬輸出(可選):8 x 16位,0 ... 3.0 V滿量程
            模擬輸出保護(hù):無限短路保護(hù),+5伏限幅
            數(shù)字輸入電壓額定值:0 ... +3.3 V,+5 V容差(+5伏限幅)
            數(shù)字輸出額定值:0 ... + 3.3 V,最大20 mA
            數(shù)字I/O保護(hù):+5伏,-0.5伏限幅
            外部可用電源:+5 VDC,最大2.0 A;+15 VDC,最大1.0 A(最大20瓦)
            通訊端口:USB,在PC上顯示為RS-232
            處理器:ARM7TDMI / 41.78 MHz
            控制回路率:100 Hz - 2.0 KHz
            接近傳感器:3個(gè)垂直、(3個(gè)水平可選)渦流,NAMUR 0-20 mA輸出
            速度傳感器 - 地震檢波器(“-VX”選件):3個(gè)垂直,電流輸出

            氣動(dòng)規(guī)格

            長期高度穩(wěn)定性:±50微米
            長期傾斜穩(wěn)定性:±50微弧度
            伺服閥:4 x 雙向可變節(jié)流孔比例伺服閥
            閥門技術(shù):純甲類
            最大輸入壓力:120 PSI或8.3巴或830 KPa
            標(biāo)稱耗氣量:60標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘(2標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/分鐘)
            空氣要求:潔凈、干燥的空氣,過濾至20微米或以上
            故障安全:隔振器在電源故障或斷電時(shí)會(huì)放氣
            氣動(dòng)接頭:“一觸式”快速接頭,適用于1/4英寸外徑軟管








             

            性能

            TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)





            化工儀器網(wǎng)

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