RTP-3S01 RTP-3系列快速退火爐

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
品牌 其他品牌
型號 RTP-3S01
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 代理商
更新時間 2024/5/30 17:24:53
訪問次數(shù) 816

產(chǎn)品標簽

快速退火爐退火爐 RTP

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公司介紹 主營產(chǎn)品

半導體化工領(lǐng)域?qū)I(yè)實驗設(shè)備供應(yīng)商：邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司，專業(yè)提供光電半導體化工實驗室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商，邁可諾從事開發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù)，幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定，尊重他們的決定，并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果，追求豐富有意義的生活。

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勻膠機，光刻機，顯影機，等離子清洗機，紫外臭氧清洗機，紫外固化箱，壓片機，等離子去膠機，刻蝕機，加熱板

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快速退火爐(RTP,Rapid Thermal Processing)系列產(chǎn)品，采用紅外輻射加熱及冷壁技術(shù)，可實現(xiàn)對實驗材料的快速升溫和降溫，同時搭配超高精度的溫度控制系統(tǒng)，可達到很好的溫場均勻性，對材料的快速熱處理、快速退火、快速熱氧化、快速熱氮化及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。

RTP-3系列快速退火爐主要分為RTP-3-01、RTP-3-04、RTP-3-06、RTP-3-08、RTP-3-12等,分別能處理 1-12 寸樣本。

應(yīng)用功能
快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)
-離子注入/接觸退火
-SiAu、SiAL、SiMo合金化
-太陽能電池片鍵合
-電阻燒結(jié)
-低介電材料熱處理
-晶體化、致密化
-材料制備
提供可控壓力環(huán)境并實現(xiàn)以上應(yīng)用提供Vac、lG、02、Gas mixture等氣氛環(huán)境

RTP-3系列快速退火爐采用紅外輻射加熱及冷壁技術(shù)，可實現(xiàn)實驗樣品的快速升溫和降溫，完成特定條件下的熱處理工藝。
支持多種配置選擇，如可選擇 SECS/GEM、1-4路氣氛、自動開關(guān)門、燈光分區(qū)控制、PID 自動配置等:可實現(xiàn)爐壁溫度監(jiān)視、水冷異常監(jiān)視、真空度監(jiān)視、腔體壓力監(jiān)視等:
豐富的附件選擇:碳化硅石墨托盤、石英樣品托架、紅外加熱燈管、石英腔體 /板、TC-Wafer 校準儀等