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            產(chǎn)品展廳

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            施啟樂(廣州)儀器有限公司

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            UV-300H 紫外線臭氧清洗機(jī)

            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            產(chǎn)品標(biāo)簽

            紫外線臭氧清洗機(jī)UV-300HSAMCO

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            深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

            致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

            公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










            冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

            產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
            應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

            紫外線臭氧清洗機(jī) UV-300 200 - 300 nm/min的高灰化率。

            概要

            UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機(jī)。通過滑動(dòng)抽屜將基材裝入系統(tǒng)中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的組合,可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs、InP)、藍(lán)寶石、陶瓷等各種基材上的有機(jī)物。

            主要特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

              • 大加工尺寸為?300mm(?12英寸)。

              • 200 - 300 nm/min的高灰化率。

              • 加熱階段加快了清洗速度,實(shí)現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。

              • 通過調(diào)整平臺(tái)和石英擴(kuò)散板之間的間隙,可以提高基板的均勻性。

              • 緊湊,使用小的潔凈室空間

              • 簡(jiǎn)單,在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。

              • 柔軟、干燥的工藝不會(huì)對(duì)基材造成電損傷。

              • 抽屜聯(lián)鎖保證了當(dāng)抽屜打開時(shí)系統(tǒng)無法工作。

              • 內(nèi)置臭氧催化劑裝置,可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

            應(yīng)用

            • 塑料包裝和引線框架的表面清潔。

            • 復(fù)合半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗。

            • 表面改性(潤(rùn)濕性和附著力的改善

            • 表面氧化(薄氧化層沉積)

            • 光阻劑的灰化、剝離和除塵。

            • 清除有機(jī)污染物

            • 紫外線固化








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