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            官方微信|手機(jī)版
            
			
			
            
				
			
            
		
            
  

              
            

            
			
				
			
			
            產(chǎn)品展廳
            
			
            產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展
            
 			
            
				
				
				
			
            
			
            
				發(fā)布詢價單
			
            
         
		
            
  
            
    
            化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>有掩模光刻機(jī)>ULTRA  激光掩模光刻機(jī) 
            
  
            
  
            
  
    
      
            

			
            ULTRA  激光掩模光刻機(jī)
            
			
            
			
			
							
				
            
													
            
							    							
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            
							
            
											
            
						
					
            
										
            
						產(chǎn)品標(biāo)簽
						
            高吞吐量半導(dǎo)體光掩模ULTRA
            
					
            
										
            
						
												
            聯(lián)系方式：謝澤雨查看聯(lián)系方式
            
						
            聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
            
											
            
				
            
							
            
			
			
		
            
		
            
  
            
  
    
  
            
    
    
    
    
     
            
  
            
  	  	
            
  		
  		
            
  			
            
  			
            
	  			


            深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。
            致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。
            公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。









            
	  		
            
  		
            
		
  		
            
  		
            
  			
            
  			
            
  				
            冷熱臺，快速退火爐，光刻機(jī)，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)
            
  			
            
  		
            
  		
            
		
		
  	
            
  	
            
  		
	    
            
      		
            
			        
            
	    	        	    	   	 
            
			
            
    					
    
            產(chǎn)品概述：
            ULTRA半導(dǎo)體光掩模光刻機(jī)是門用于成熟半導(dǎo)體光掩模的合格激光掩模機(jī)。半導(dǎo)體光掩模用于制造電子設(shè)備，包括微控制器、電源管理、LED、物聯(lián)網(wǎng) （IoT） 和 MEMS。
            操作

            用戶界面（軟件）
             
            半兼容 GUI
            大寫入?yún)^(qū)域
            228 x 228 mm2 （可根據(jù)要求提供其他尺寸）
            基板尺寸
            4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸和 9 英寸口罩（可根據(jù)要求提供更大的和其他基材）


             
            系統(tǒng)特點

            光學(xué)
            0.9 NA物鏡
            低失真紫外光學(xué)元件
            自動校準(zhǔn)程序
            激光
            355nm波長的高功率二管泵浦固體激光器
            對焦系統(tǒng)
            實時光學(xué)自動對焦
            對準(zhǔn)
            攝像系統(tǒng)
            失真補償
            全局和逐場對準(zhǔn)
            邊緣檢測器
            數(shù)據(jù)路徑
             
            實時壓縮
            可擴(kuò)展的硬件概念
            輸入格式：所有標(biāo)準(zhǔn)格式，例如 GDSII 和 Jobdeck
            空間光調(diào)制器
             
            頻率 350 kHz
            數(shù)據(jù)速率 2.4 GB/s
            自動化
             
            全自動口罩處理，帶兩個大 9 英寸的輸送站;可選的 SECS/GEM 協(xié)議


             
            系統(tǒng)尺寸
             
            系統(tǒng) / 電子機(jī)架
             
            寬度 [mm]
            2995 / 800
             
            深度 [mm]
            1652 / 650
             
            高度 [mm]
            2102 / 1800
             
            重量 [kg]
            3400 / 180


             
            安裝要求

            電氣
            400 VAC ± 5%，50/60 Hz，16A，3 相
            壓縮空氣
            7 - 10 bar （不含油或其他殘留物）
             



            
	    
            
		    
    
  	
            
  
            
  
            
    	
    
    
  
            

            

            
        		
            
		
  
  
            
		
		
	
            




	
	
                
            
	
		
		
            
			
            
			
            
				
            
				
					
             化工儀器網(wǎng)
            
					
            
						采購商登錄
						
            
							
							
							
						
            
						
            
							
							
							
						
            
						
            
							
						
            
						
            
							
            記住賬號    找回密碼
									
							
            
							沒有賬號？免費注冊
						
            
					
            
				
            
			
            
		
            
 

            

            
    
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            *您想獲取產(chǎn)品的資料：
            
        
        以上可多選，勾選其他，可自行輸入要求
    
            
    
            
        
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