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            產(chǎn)品展廳

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            化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>有掩模光刻機(jī)>MA200 Gen3 掩模對準(zhǔn)光刻機(jī)

            MA200 Gen3 掩模對準(zhǔn)光刻機(jī)

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            產(chǎn)品標(biāo)簽

            半導(dǎo)體光刻有掩膜

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            深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

            致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

            公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










            冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

            MA200 3代提供適應(yīng)眾多生產(chǎn)過程的智能化解決方案。多樣化的對準(zhǔn)方案、靈活可調(diào)的鏡頭系統(tǒng)和特殊附加選項使本系統(tǒng)成為處理各種不同工藝的全能設(shè)備。

            高度自動化且切實節(jié)省寶貴的處理時間。這也體現(xiàn)在細(xì)節(jié)方面,例如選擇自動更換濾光片,以便維持低運營成本。

            MA200 3 代在設(shè)計方面著重凸出用戶友好性。如可調(diào)節(jié)高度的顯示器、符合人體工程學(xué)的I / O接口、連續(xù)運行期間更換晶圓盒和直接觀看曝光模塊等特性大大簡化了設(shè)備操作,即使是在高負(fù)荷工作時。

            憑借其廣泛的附加選項,第 3 代 MA200 很容易就能達(dá)到特種光刻工藝的要求。




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