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            C-43型多點(diǎn)光源曝光頭高精度國產(chǎn)光刻機(jī)

            參考價 99
            訂貨量 ≥1
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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                  北京長恒榮創(chuàng)科技有限公司是一家專業(yè)的光學(xué)顯微鏡提供商,是一家以生產(chǎn)、研發(fā)、銷售高品質(zhì)顯微鏡的科技公司,公司經(jīng)營的主要產(chǎn)品有:倒置顯微鏡,倒置金相顯微鏡,正置金相顯微鏡,偏光顯微鏡,熒光顯微鏡,數(shù)碼顯微鏡產(chǎn)品及各種分析處理軟件。我公司產(chǎn)品廣泛用于機(jī)械、電子、冶金、化工、航空、天文、輕工、農(nóng)業(yè)等各行業(yè)和科研、教育、國防等部門, 企業(yè)產(chǎn)品遍及國內(nèi)外,深受國內(nèi)外廠家及客商的歡迎。

             

                  公司面向現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)*的應(yīng)用領(lǐng)域,秉承“以客戶需求為基本出發(fā)點(diǎn)”的宗旨,堅持“制定科學(xué)設(shè)計方案,提供*產(chǎn)品,構(gòu)建完善售后服務(wù)”的原則,竭誠歡迎光學(xué)儀器領(lǐng)域中的有相當(dāng)專長的人士和機(jī)構(gòu)進(jìn)行各種形式的合作。

             

            奧林巴斯顯微鏡、徠卡顯微鏡、

            用途1 中小規(guī)模集成電路研制生產(chǎn) 用途2 半導(dǎo)體元器件研制生產(chǎn)
            用途3 聲表面波器件研制生產(chǎn) 曝光頭 多點(diǎn)光源
            出射光斑 直徑不超過110mm 曝光時間 通過0.1~999.9秒的時間繼電器進(jìn)行設(shè)定
            分辨率 不低于1μm 曝光面積 不小于φ100mm
            曝光不均勻性 小于±4% 控制膜版尺寸 5英寸
            曝光燈功率 350W

            C-43型多點(diǎn)光源曝光頭高精度國產(chǎn)光刻機(jī)

            C-43型多點(diǎn)光源曝光頭高精度國產(chǎn)光刻機(jī)


            C-43型國產(chǎn)高精度光刻機(jī)主要用途是在中小規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體元器件和聲表面波器件的研制和生產(chǎn)中使用。C-43的出色之處在于其先進(jìn)的找平機(jī)構(gòu),這使得它適用于對不同類型的材料進(jìn)行曝光,包括硅片、玻璃片、陶瓷片、銅片、不銹鋼片和寶石片等。


            C-43型國產(chǎn)高精度光刻機(jī)的工作方式是一次性光刻曝光,即一次完成曝光過程。以下是其主要技術(shù)指標(biāo):

            配置壹件承片臺,其尺寸可以根據(jù)用戶需求進(jìn)行制造。

            曝光頭采用多點(diǎn)光源,具備以下特性:

            出射光斑直徑不超過110mm。

            在直徑為100mm的范圍內(nèi),光的不均勻性小于±4%。

            能夠在真空密封條件下進(jìn)行曝光。

            曝光時間可以通過0.1~999.9秒的時間繼電器進(jìn)行設(shè)定。

            汞燈的位置可以通過精密的x、y、z調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行調(diào)整,分別可以調(diào)節(jié)±5毫米。

            具備風(fēng)扇冷卻裝置。

            分辨率不低于1μm。

            具備真空吸片功能。

            具備真空密封和反吹氣的功能,通過調(diào)節(jié)密封真空的大小可以實(shí)現(xiàn)硬接觸曝光(密封真空≤-0.05 Mpa)、軟接觸曝光(密封真空在-0.05Mpa~-0.02Mpa之間)和微力接觸曝光(密封真空≥-0.02Mpa)。


            C-43型多點(diǎn)光源曝光頭高精度國產(chǎn)光刻機(jī)主要配置:

            一臺多點(diǎn)光源曝光頭,支持一次性曝光。

            曝光面積不小于φ100mm。

            曝光不均勻性小于±4%。

            曝光強(qiáng)度不低于15mw。

            曝光分辨率不高于2μm。

            曝光模式為單面曝光。

            控制膜版尺寸為5英寸。

            基片尺寸為100mm×100mm,厚度不超過5mm。

            曝光燈功率為350W。

            曝光定時范圍為0~999.9秒,可調(diào)。

            電源要求為單相AC 220V 50Hz,功耗不超過1kW。

            需要潔凈壓縮空氣壓力不低于0.4Mpa。

            可以實(shí)現(xiàn)真空度在-0.07Mpa~-0.09Mpa之間。

            尺寸為700×650×1200毫米(長×寬×高),重量約為110kg。

            備件包括一臺真空泵、一只汞燈和15米φ8氣管。




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