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            產(chǎn)品展廳
            
			
            產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展
            
 			
            
				
				
				
			
            
			
            
				發(fā)布詢價單
			
            
         
		
            
  
            
    
            化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>流量計流速儀/測漏儀>質(zhì)量流量計>SEC-Z517MGX  horiba IGS氣體質(zhì)量流量計Z517/Z527MGX 
            
  
            
  
            
  
    
            
	
  

 
      
      
      
            
      
            

			
            SEC-Z517MGX  horiba IGS氣體質(zhì)量流量計Z517/Z527MGX
            
			
            
			
			
							
				
            
												
            
							
            
								
            參考價
																￥ 18000 
								
            
								
            訂貨量
																≥1件
								
            
							
            
							
            具體成交價以合同協(xié)議為準
            
						
            
											
            
						
              
							
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								公司名稱
								上海進佳科學儀器有限公司                      
                  
							
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								品牌
								HORIBA/堀場
							
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								型號
								SEC-Z517MGX
							
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								產(chǎn)地
								日本
							
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								廠商性質(zhì)
								代理商
							
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								更新時間
								2025/3/2 23:13:50
							
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								訪問次數(shù)
								864
							
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            聯(lián)系方式：宋先生查看聯(lián)系方式
            
						
            聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
            
											
            
				
            
							
            
			
			
		
            
		
            
  
            
  
    
  
            
    
    
    
    
     
            
  
            
  	  	
            
  		
  		
            
  			
            
  			
            
	  			
            我公司代理進口品牌多年，有兩大業(yè)務(wù)：horiba質(zhì)量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。
            HORIBA是著名的半導體設(shè)備供應(yīng)商，主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。暢銷的質(zhì)量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列、SEC-D500系列、SEC-Z500系列，低成本的有SEC-N100系列、SEC-E40系列及國內(nèi)組裝的S600系列、S48系列、S500系列。液體流量控制器有LV-F50、LF-F60，壓力液體汽化器UR-Z700系列、GR-200系列、GR-300系列、PV-1000，氣體濃度計IR-300、IR-400，汽化器有VE10、VE20、MV-2000，皂膜流量計SF/VP系列，真空計VG-200S

            儀器儀表代理品牌是美國dwyer、美國Omega、日本Horiba。美國dwyer德威爾儀表成立有80多年，是美國*的儀器儀表生產(chǎn)商，有多個自主品牌：Magnehelic、Flotect、Mercoid、Love，主要產(chǎn)品有：差壓表2000-250Pa、負壓表2000-500Pa、2000-60pa、2000-25MBAR、2000-3KPA、2000-1000PA；數(shù)顯變送器MS-111、MS111LCD、MS121LCD、MS311LCD、MS141LCD；防爆差壓開關(guān)1950-1-2F、1950-5-2F、1950-20-2F、1950G-1-2F-24、1950-0-2F；flotect流量開關(guān)V4-2-U、V6EPBBS1BAT、V6EPBBS3BAT、V6EPBBSLF；flotect液位開關(guān)L6EPBBS3CCSA；風速變送器641-6-LED、641-12-LED、641RM-12-LED；轉(zhuǎn)子流量計RMB-11-SSV-APF、RMA-13-SSV-APF、RMA-25-SSV-APF、RMA-150-SSV-APF、RMB-51D-SSV-BPF、RMB-57D-SSV-BPF、RMB-85D-SSV-BPF、VFA-2-BV；高低壓報警開關(guān)A3000-1KPA-240VAC、A3000-750PA-240VAC、3000MR-500PA、3000MR-60PA、3000MR25MM；防爆差壓開關(guān)AT23000MR、AT21910、AT21823、AT2MS、AT21640、AT11910、AT1ADPS。
            另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線、Omega流量計等；韓國TK，SUPER LOK，卡套，超純隔膜閥，VCR直通，鎳墊片，焊接、卡套、VCR接頭，廣泛應(yīng)用于電子半導體，太陽能，暖通，空調(diào)，食品，制藥，生物工程，智能樓宇，電廠，化工，水處理，環(huán)境監(jiān)測，工業(yè)制造和實驗室等領(lǐng)域。


            
	  		
            
  		
            
		
  		
            
  		
            
  			
            
  			
            
  				
            氣體質(zhì)量流量計，熱式質(zhì)量流量計，熱式質(zhì)量流量控制器，液體質(zhì)量流量計，液體質(zhì)量流量控制器，壓力調(diào)節(jié)閥，壓差表、壓差傳感器、制粒干燥機
            
  			
            
  		
            
  		
            
		
		
  	
            
  	
            
  		
	    
            
      		
            
			        
            
	    	                                	            
            
    	                	            產(chǎn)地類別
    	            進口
                        	                                    	            產(chǎn)品種類
    	            質(zhì)量式
                        	            
            
    	                	                                    	            
            
    	                	            價格區(qū)間
    	            1萬-3萬
                        	                                    	            介質(zhì)分類
    	            氣體
                        	            
            
    	                	                                    	            
            
    	                	            應(yīng)用領(lǐng)域
    	            生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣
                        	                                    	            氣體
    	            N2、SiH4、Ar等
                        	            
            
    	                	                                    	            
            
    	                	            量程
    	            10SLM、最小3sccm
                        	                                    	            接口
    	            IGS 14W3
                        	            
            
    	                	                                    	            
            
    	                	            通訊
    	            EtherCat
                        	            	    	   	 
            
			
            
    		
            			
    
            Horiba SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX高精度質(zhì)量流量計
            暢銷型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。 
            可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
            可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
            國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300
            國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212  
                
            horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512 又稱氣體質(zhì)量流量控制器，簡稱MFC。
            主要功能是：控制器管路中的流量達到期望的設(shè)定值，同時反饋實際的流量信號到上位機。
            大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC，用于進口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，國內(nèi)多回收、二次銷售，
            我公司提供進口
            SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等，
            保證全新進口，終身維修。


            產(chǎn)品特點
            1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設(shè)定;
            2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
            3) 快速響應(yīng)：< 1秒 (全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點);
            4) 非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作;
            5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存;
            6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
            7) 可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。

            horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512 horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z512
            產(chǎn)品參數(shù)
            規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式 
            型號*1
            SEC-Z512、Z514
            SEC-Z512MGX
            SEC-Z522MGXN
            SEC-Z522MGX
            SEC-Z514MGX
            SEC-Z524MGXN 
            SEC-Z524MGX
            全標準流量
            (N2 轉(zhuǎn)換流量)
            1/2SCCM

            10SCCM-10SLPM
            10-50SLM
            閥門類型
            O: 通常打開 C: 通常關(guān)閉
            關(guān)閉控制閥時的流量
            ≤ 2% F.S.
            流量測量范圍
            0-100% of F.S.
            精確性*2
            ±1.0%F.S.
            ±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)
            ±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
            工作溫度
            5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)
            響應(yīng)
            ≤ 1 秒:超過全流量范圍
            直線性
            ≤ ±0.5% F.S.
            反復性
            ≤ ±0.2% F.S.
            工作壓差值
            ≤ 300 kPa (d)
            zui大工作壓力
            450 kPa (g)
            耐壓
            1000 kPa (g)
            外部泄漏率
            ≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
            流量設(shè)定信號
            0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高
            流量輸出信號
            0 -5 V DC (0% - F.S.); zui小負荷阻力 2 kΩ 或更高
            數(shù)字界面
            地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)
            F-Net 協(xié)議,DevceNet
            接液部材質(zhì)
            316L 不銹鋼(表面拋光)
            電源
            +15V±5% 150mA
            -15V±5% 150mA
            信號反應(yīng)
            模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
            數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
            標準接頭*3
            1/4 inch VCR
            1/4 inch VCR
            1.5 inch IGS
            選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS
            可選1.125 inch IGS
            安裝方向
            自由
             
            *1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運用特殊軟件改變。
            *2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標準。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
            *3IGS: 完整氣體系統(tǒng)
            *SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)
            訂購注意：
             請?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。
            如是設(shè)備備件的更換，請?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。



            
	    
            
		    
    
  	
            
  
            
  
            
    	
    
    
  
            

            

            
        		
            
		
  
  
            
		
		
	
            




	
	
                
            
	
		
		
            
			
            
			
            
				
            
				
					
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