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            產(chǎn)品展廳

            產(chǎn)品求購(gòu)企業(yè)資訊會(huì)展

            發(fā)布詢價(jià)單

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            CY-PECVD100-1200-Q PECVD氣相沉積

            參考價(jià) 60000
            訂貨量 ≥1
            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
            • 公司名稱 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
            • 品牌 其他品牌
            • 型號(hào) CY-PECVD100-1200-Q
            • 產(chǎn)地
            • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
            • 更新時(shí)間 2024/12/17 11:51:01
            • 訪問(wèn)次數(shù) 72

            聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


            鄭州成越科學(xué)儀器有限公司位于鄭州市*開(kāi)發(fā)區(qū),是一家專業(yè)從事材料制備設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的高科技公司。重點(diǎn)專注于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。

            鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)?wèi){借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí)和豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),先后研發(fā)出了多款*材料制備設(shè)備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應(yīng)爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;

            其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機(jī)、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測(cè)試柜、行星球磨機(jī)、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。

            近年來(lái),在社會(huì)各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國(guó)內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請(qǐng)了多位國(guó)內(nèi)外重點(diǎn)高校的教授,博導(dǎo)為公司常年的技術(shù)顧問(wèn),他們時(shí)刻與國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)界保持交流,出國(guó)訪問(wèn),并親臨一線指導(dǎo)產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點(diǎn),推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠(yuǎn)銷歐美、日韓等國(guó)家,并在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)獲得業(yè)界*好評(píng)。

            如果您正在被國(guó)貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對(duì)國(guó)貨的某些觀念;如果您正在為自己的實(shí)驗(yàn)方案的實(shí)施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您量身定做!如果您正在為故障設(shè)備的售后無(wú)人理會(huì)而發(fā)愁,選擇我們一切的問(wèn)題將由我們負(fù)責(zé)到底。鄭州成越科學(xué)儀器有限公司的誠(chéng)信、實(shí)力和產(chǎn)品質(zhì)量獲得業(yè)界的認(rèn)可。歡迎各界朋友蒞臨參觀、指導(dǎo)和業(yè)務(wù)洽談。


            管式爐,氣氛爐,馬弗爐,等離子磁控濺鍍膜儀,等離子清洗機(jī),切斷機(jī),拋光機(jī)

            簡(jiǎn)單介紹:

            PECVD氣相沉積在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用

            詳情介紹:

            是化學(xué)氣相淀積的一種,其特點(diǎn)是在低溫下利用等離子體的激活作用來(lái)增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是沉積溫度低,沉積速率快,而且制得的薄膜具有優(yōu)良的電學(xué)性能、良好的襯底附著性以及**的臺(tái)階覆蓋性。 

            應(yīng)用領(lǐng)域:

            等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)可以用于:石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種試驗(yàn)場(chǎng)所??稍谄瑺罨蝾愃菩螤顦悠繁砻娉练eSiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜,并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、**裝飾等領(lǐng)域,在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用.

            PECVD氣相沉積

            技術(shù)參數(shù):

            產(chǎn)品名稱

            PECVD氣相沉積

            產(chǎn)品型號(hào)

            CY-PECVD-500T-SS

            腔體尺寸

            φ500

            溫區(qū)長(zhǎng)度

            200

            射頻電源

            500W-

            溫度

            1000℃-

            前級(jí)泵

            分子泵組

            顯示類型

            T

            溫區(qū)

            I-

            水冷機(jī)

            CW5200

            腔體材質(zhì)

            SS

            樣品加熱加熱溫度

            RT-1000℃以上,溫控精度:±1°C,采用控溫表進(jìn)行控溫;

            可調(diào)轉(zhuǎn)速:1-20rpm可調(diào)

            噴淋頭尺寸

            Φ90mm,噴淋頭與樣品之間電極間距40-100mm在線連續(xù)可調(diào)(可根據(jù)工藝調(diào)整),并帶有標(biāo)尺指數(shù)顯示

            樣品臺(tái)

            直徑200mm

            沉積工作真空

            0.133-133Pa(可根據(jù)工藝調(diào)整)

            頂部法蘭

            可通過(guò)馬達(dá)提升,基板更換方便,有可視口

            基板臺(tái)

            基板臺(tái)的線性和方位角運(yùn)動(dòng),基板加熱和溫度控制,安裝臺(tái)和觸摸屏控制,基板線性運(yùn)動(dòng)是手動(dòng)控制的,基板旋轉(zhuǎn)是由直流電動(dòng)機(jī)控制的

            真空腔體

            前開(kāi)門(mén)式,φ500mm X 500mm 不銹鋼材質(zhì)

            觀察窗

            φ100mm 帶擋板

            質(zhì)量流量計(jì)

            六路質(zhì)量流量計(jì)

            氣路數(shù)量

            六路

            承壓范圍

            -0.15Mpa~0.15Mpa

            量程

            0~100 SCCM(氧氣)

            0~100 SCCM(CF4)

            0~200 SCCM (SF6)

            0~200 SCCM (氬氣)

            0~500 SCCM (其他氣體空氣)

            0-500sccm (其他氣體氮?dú)猓?/span>

            流量控制范圍

            ±1.5%

            氣路材料

            304不銹鋼

            管道接口

            6.35mm卡套接頭

            真空系統(tǒng)

            前級(jí)泵:無(wú)油真空泵4.7L/S

            分子泵:1200L/S

            測(cè)量范圍

            1×10-5~1×105Pa

            測(cè)量精度

            1×10-5~1×10-4Pa ±40%的讀數(shù)

            1×10-4~1×105Pa ±20%的讀數(shù)




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