TESCAN   聚焦離子束掃描電鏡  聚焦離子束掃描電子顯微鏡

雙束聚焦掃描電鏡FIB-SEM

FIB-SEM

雙束電鏡（FIB-SEM）是一款集成了電子束和離子束的電子顯微鏡系統(tǒng)。SEM 鏡筒提供高分辨成像能力，F(xiàn)IB 鏡筒能在成像的同時(shí)對(duì)樣品進(jìn)行加工處理。雙束電鏡系統(tǒng)開(kāi)創(chuàng)了一種全新的應(yīng)用方式。

雙束電鏡系統(tǒng)的配置使得電子束和離子束的聚焦點(diǎn)重合，這在很多應(yīng)用中可以獲得良好的結(jié)果。這一特點(diǎn)也使得儀器在完成 FIB 銑削任務(wù)的同時(shí)，可以進(jìn)行 SEM 實(shí)時(shí)成像----這對(duì)于精度要求非常高的 FIB 操作有很大幫助，使得操作性能和工作效率實(shí)現(xiàn)重大飛躍。

TESCAN 提供兩種不同的 FIB 離子源：鎵離子和氙等離子體。Ga 離子源 FIB 適用于所有在制造和納米加工中需要高精度的應(yīng)用。另一方面，Xe 等離子體 FIB 具有超高離子束流，能夠以高于 Ga-FIB 50倍的效率去除大量材料。在精度方面，我們的高分辨率 Xe 等離子 FIB 可以實(shí)現(xiàn)< 15 nm的分辨率，適用于同時(shí)要求高效率和高精度的精細(xì)加工任務(wù)。

主要型號(hào)：

TESCAN AMBER

TESCAN SOLARIS

TESCAN AMBER X

TESCAN SOLARIS X

我們提供多種配置的 FIB-SEM 系統(tǒng)，能夠滿足從常規(guī)工業(yè)應(yīng)用到具有挑戰(zhàn)性的工藝應(yīng)用，這些應(yīng)用要求在成像和微/納米機(jī)械的復(fù)雜工作流程方面達(dá)到很高的標(biāo)準(zhǔn)。