Leybold萊寶熱陰極真空計(jì)（ITR90）

有兩種主要型號(hào)可供選擇：

l帶單個(gè)熱陰極燈絲的 ITR 90

l帶雙燈絲的 ITR 200，通過(guò)內(nèi)置冗余配置延長(zhǎng)使用壽命。如果出現(xiàn)故障，它將自動(dòng)切換燈絲，并指示燈絲出現(xiàn)故障。為了進(jìn)一步延長(zhǎng)真空計(jì)的使用壽命，可以運(yùn)行脫氣程序，從而重新增強(qiáng)燈絲的性能。 

l從 1 × 10^-10 mbar/torr 到大氣壓的連續(xù)壓力測(cè)量  

l緊湊型設(shè)計(jì)，帶有可更換的陰極和脫氣模式 

l可烘烤的傳感器，用于 UHV 測(cè)量 

l提供模擬、顯示、數(shù)字和 Profibus 接口，便于安裝 

l在 10^-2 至 10^-9 mbar 的典型工藝壓力范圍內(nèi)具有高重復(fù)性  

l通過(guò)無(wú)源測(cè)量進(jìn)行的 UHV 壓力測(cè)量，可實(shí)現(xiàn)低至 10^-12 mbar/torr 的測(cè)量

l測(cè)量范圍：通?？蓽y(cè)量的壓力范圍為 1.3×10?? Pa 到 3×10? Pa，可滿足從高真空到超高真空范圍的測(cè)量需求。

l輸出特性：可以與 Duniway Terranova 990 真空計(jì)控制器等配合，具有 RS232 串行、I/O 數(shù)據(jù)輸出接口，可進(jìn)行壓力讀數(shù)的模擬對(duì)數(shù)輸出等。

工作原理

基于熱陰極電離規(guī)的原理工作。通過(guò)高溫?zé)艚z發(fā)射電子，這些高能量電子在電場(chǎng)作用下加速運(yùn)動(dòng)，與真空計(jì)測(cè)量空間內(nèi)的氣體分子發(fā)生碰撞。在碰撞過(guò)程中，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，使氣體分子電離形成帶正電的離子。這些帶電離子在電場(chǎng)作用下被離子收集極捕捉收集，形成離子流。離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系，通過(guò)測(cè)量離子流的大小就可以測(cè)算出氣體的壓力，從而得出真空度。

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

l電極結(jié)構(gòu)：一般由陰極（燈絲）、柵極和收集極組成。陰極通常采用耐高溫、發(fā)射電子性能良好的材料制成，通電加熱后發(fā)射電子。柵極處于正電位，用于加速?gòu)年帢O發(fā)射出來(lái)的電子，使電子獲得足夠的能量去撞擊氣體分子。收集極處于負(fù)電位，用于收集被電離的氣體離子。

l規(guī)管設(shè)計(jì)：整體規(guī)管的設(shè)計(jì)能夠保證在高真空環(huán)境下，電子、離子的運(yùn)動(dòng)和相互作用不受外界干擾，確保測(cè)量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

Leybold萊寶熱陰極真空計(jì)（ITR90）

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

l量程寬：能夠覆蓋較廣的真空度測(cè)量范圍，從高真空到超高真空都能進(jìn)行有效的測(cè)量，適用于多種不同的真空應(yīng)用場(chǎng)景，如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等。

l精度較高：在其測(cè)量范圍內(nèi)，能夠提供相對(duì)準(zhǔn)確的真空度測(cè)量結(jié)果，為工藝控制和實(shí)驗(yàn)研究提供可靠的數(shù)據(jù)支持。

l響應(yīng)速度快：可以快速地對(duì)真空度的變化做出響應(yīng)，及時(shí)反映系統(tǒng)內(nèi)真空狀態(tài)的改變，有助于實(shí)時(shí)監(jiān)控和調(diào)整真空系統(tǒng)。

l穩(wěn)定性好：萊寶作為有名的真空技術(shù)品牌，ITR90 熱陰極真空計(jì)在設(shè)計(jì)和制造上遵循嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)，具有良好的穩(wěn)定性和可靠性，能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。

應(yīng)用領(lǐng)域

l半導(dǎo)體行業(yè)：在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中的光刻、蝕刻、鍍膜等工藝環(huán)節(jié)，需要精確控制真空度，ITR90 熱陰極真空計(jì)可用于監(jiān)測(cè)和控制真空系統(tǒng)，確保工藝的一致性和產(chǎn)品質(zhì)量。

l真空鍍膜：如光學(xué)鍍膜、金屬鍍膜等，精確的真空度對(duì)于鍍膜的質(zhì)量和性能至關(guān)重要，ITR90 可幫助操作人員準(zhǔn)確掌握真空狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)理想的鍍膜效果。

l科研領(lǐng)域：在物理、化學(xué)、材料科學(xué)等科研實(shí)驗(yàn)中，許多實(shí)驗(yàn)需要在高真空或超高真空環(huán)境下進(jìn)行，ITR90 熱陰極真空計(jì)可為實(shí)驗(yàn)提供準(zhǔn)確的真空度測(cè)量，保障實(shí)驗(yàn)的順利進(jìn)行和數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。