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            XRM-1203M-193 Lambda準分子激光反射鏡 輸出波長193nm

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            維爾克斯光電(www.highlightoptics.com)專業(yè)代理歐美激光器、光譜儀、光電測試分析儀器和光電元器件。憑借強力的專業(yè)技術背景和多年的行業(yè)經驗,維爾克斯能夠滿足客戶不同的應用要求,精準地為客戶提供高性價比的解決方案,并保證設備及時安裝、調試和故障排除。

            我們提供自主開發(fā)的:微透鏡陣列、分束鏡、工程散射片、螺旋相位片、結構光模組、離軸拋物面鏡、掃擺鏡、中空回射器、太赫茲透鏡、太赫茲窗口鏡、分辨率板、太赫茲鏡頭、激光防護眼鏡。

            以色列Holoor公司衍射光學元件,光束整形器、高斯整平頂DOE、勻光鏡、勻化器、寬帶散射片、分束鏡、多焦點DOE、長焦深DOE、玻璃切割模組、定制衍射元件;

            德國Holoeye公司結構光DOE、激光散斑、隨機點陣、定制衍射元件;

            德國ADLoptica光束整形器,pishaper光纖激光平頂整形,πshaper激光整形器;

            美國RPC Photonics公司螺旋相位板、微透鏡陣列、工程散射片,工程漫射體,擴散片;

            美國Thorlabs,Edmund離軸拋物面鏡,微透鏡,激光防護鏡;

            丹麥NILT納米壓印模板,微加工掩膜,納米壓印機,硅模板,石英母版;

             

            美國NOIR激光防護眼鏡,激光防護鏡,激光護目鏡常用型號:ARG, EC2, YG3, DBD, YG2, FG1, DBY, ND1, YLW;

            德國Laservision激光護目鏡,激光防護鏡,激光防護玻璃,激光防護簾;

            以色列DUMA公司 Spoton系列激光位置測量儀,Beamon光斑分析儀,光束分析儀,激光準直儀, Autocollimator,內調焦自準直儀,Alignmeter激光位置角度測量儀;

            法國Phaseview公司M2儀,光束質量分析儀,激光輪廓儀,激光波前測量儀;

            立陶宛Optogama公司紅外熱像儀(可替代7215紅外熱像儀)、紅外相機、紅外觀察儀、4lasers鏡片、晶體、擴束鏡、人眼安全激光器;

            美國Dataray光斑分析儀,光束分析儀,M2儀,紅外光斑分析儀;

            白俄羅斯Solar Laser公司SHR波長計,SHR-IR激光波長計,低重頻大能量固體激光器;

            加拿大Gentec功率計,能量計,太赫茲探測器;

                 

            美國Chroma公司濾光片、濾光片盒子、濾光片套裝、FISH濾光片、窄帶濾光片、拉曼濾光片;

            美國Adnover公司濾光片,定制濾光片,超窄帶濾光片;

            德國BATOP可飽和吸收鏡,SESAM,可飽和吸收耦合輸出鏡,共振可飽和吸收鏡,可飽和吸收體SA,太赫茲聚焦鏡,激光芯片,微芯激光器;

            德國B.Halle公司消色差波片、超寬帶消色差波片;

            美國Innovation Photonics中紅外聚焦鏡,中紅外隔離器,紅外光纖,紅外偏振片,光纖耦合透鏡;

            德國Layertec飛秒激光鏡片,皮秒激光鏡片、寬帶鏡、啁啾鏡、GT干涉鏡;

            美國DRO,Design research optics二氧化碳鏡片,ZnSe反射鏡,硒化鋅透鏡,CO2合束鏡、CO2分束鏡;

            美國LRO,Laser Research Optics分光鏡、合束器、全反射鏡、部分反射鏡、金屬反射鏡、輸出耦合鏡、零相位延遲片、部分相位延遲片;

            德國Femto Fiber公司布拉格光纖光柵;

             

            美國Minusk隔震臺,減震平臺,精密隔振平臺,原子力顯微鏡隔振臺;

            德國Marzhauser公司(MW)顯微鏡載物臺,手動顯微鏡平移臺;

            英國PRIOR顯微鏡平臺,顯微鏡載物臺,顯微鏡電動平臺,納米電動平臺,自動上片機,自動對焦系統(tǒng);

            加拿大Zaber電控平移臺,線性致動器,旋轉臺,真空平移臺,內置編碼器和驅動器的位移臺;

            法國Piezoconcept納米平臺,納米壓電平臺;

            芬蘭Sensapex微操作器,微操作系統(tǒng);

             

            加拿大Sicencetech太陽光模擬器,AA*太陽光模擬器,光伏測試系統(tǒng),紅外光譜儀;

            美國TTI公司C995光學斬波器,光纖脈沖轉換器,模擬信號收發(fā)器,O/E轉換模塊探測器;

            美國Phase Photonics紅外光譜儀,中紅外光譜儀;

            美國Scientech公司精密電子天平,激光功率計;

             

            荷蘭Anteryon CP-332/CP-544激光器,非球面鏡;

            德國Advanced Laser Diode Systems(ALSG)半導體皮秒激光器,可單模光纖、單光子輸出;

            德國Frankfurt Laser公司各類激光器及激光配件;

            德國Alphalas公司激光器,可調諧波片,寬帶可調波片,超快探測器UPD;

            美國Photonics Industries公司(PI)納秒激光器,皮秒激光器,高功率,高能量;

            日本Oxide公司266nm激光器,波長轉換器,晶體,激光組件;

            立陶宛Eksma,Ekspla公司光纖激光器,超短脈沖選擇器,普克爾斯盒;

             

            美國Terasense太赫茲相機,太赫茲源, THz人體安檢儀,超快太赫茲探測器;

            德國Menlo公司飛秒光纖激光器,太赫茲時域光譜系統(tǒng),飛秒激光同步激發(fā)的太赫茲光譜系統(tǒng),光學頻率合成器、光梳;

            瑞士Rainbow Photonics太赫茲時域光譜系統(tǒng)(1-14THz),可調諧太赫茲源,THz有機晶體;

            俄羅斯Tydex公司太赫茲光學元件、太赫茲透鏡、太赫茲波片、TH分光片、TH濾光片、太赫茲衰減片、太赫茲衍射鏡片,Golay Cell 高萊探測器;

            西班牙NIT,德國TrinamiX,芬蘭Emberion,英國Redwavelabs紅外探測器。

             

            俄羅斯SmarTThermoelectrics半導體制冷片,單極TEC,多極TEC熱電模塊;

            德國Jutec耐高溫手套,隔熱手套,熱防護服;

            美國AppliedImage公司圖像測試卡、ISO 測試卡 、圖像質量分析軟件、Bar Code條形碼校正;

            還代理英國Laser2000,德國Pleiger Laseroptik,立陶宛Optogama,美國Precision Laser Scanning等廠家;

             

            油脂分析儀,石油分析儀,激光眼鏡,光學配件

            供貨周期 一個月 規(guī)格 標準品
            應用領域 綜合 主要用途 激光光學

            ArF(193nm),反射率>97%、耐酸/氟的193/248/308nm反射鏡

            Lambda Research Optics由從事電子光學業(yè)務超過25年的專業(yè)人士創(chuàng)立,專注于生產用于從真空紫外到遠紅外整個光學光譜的光學元件。Lambda對光學、光學材料和光學鍍膜具備一定的能力,可為客戶提供研究、開發(fā)或產品制造所需的光學元件。Lambda準分子激光反射鏡 輸出波長193nm

            美國Lambda準分子反射鏡分為腔內反射鏡(XRM/XOC)和腔外反射鏡(XHR/XPR),ArF(193nm)、KrF(248nm)XeCl(308nm)準分子激光反射鏡可用于微光刻、微制造和醫(yī)療設備等應用。氟化氬準分子激光器可產生193nm的短波長輸出,這對于追求更精細分辨率的微光刻領域非常重要,此波長下,建議使用氟化鈣或氟化鎂基底作為腔內透射光學元件。后腔反射鏡(Excimer Cavity Rear Mirrors (XRM))在激光波長下的反射率至少為97%。另外,用戶可選擇輸出耦合器的反射率。值得關注的是,Lambda高質量準分子激光腔鍍膜涂層是專為耐酸/(Acid/Fluorine resistance)而設計的。

            腔外反射鏡(extra-cavity mirrors)用于氟化氬準分子激光器,它們使用紫外熔融石英襯底,輸出波長為193nm。在短波長下工作時,高質量的涂層和高的潔凈度至關重要,這些反射鏡在正常入射時的非偏振反射率至少為97%,在45°入射時為96%。部分反射率可由用戶選擇。


            準分子激光反射鏡 Lambda的主要特點:

            腔內反射鏡和輸出耦合鏡(XRM/XOC)特征:

            - 氟化氬準分子激光光學器件

            - 氟化鈣或氟化鎂基底

            - 反射率>97%


            腔外反射鏡和部分反射鏡(XHR/XPR)特征:

            - 腔外轉向鏡Extra-Cavity Turning Mirrors

            - 正?;?span style=";padding: 0px">45°入射角

            - 高反射率或部分反射率


            308/248/193nm反射鏡的規(guī)格:

            規(guī)格

            描述

            材質Material

            XRM/XOC:紫外MgF?/紫外CaF?

            XHR/XPR:準分子級熔融石英

            表面質量

            XRM/XOC<20/10

            XHR/XPR<10/5

            曲率半徑

            表面平整度

            < λ/10@633 nm

            直徑公差

            < +0.00/– 0.20 mm

            厚度公差

            < ±0.25 mm

            清晰光圈

             85% of diameter

            損傷閾值

            >1.2J/cm2, 10 ns

            耐用性

            符合MIL-C-675標準的附著力和耐磨性要求














            Lambda準分子激光反射鏡 輸出波長193nm

            93nm準分子反射鏡和輸出耦合鏡XRM/XOC型號參數(shù):

            MgF2

            CaF2

            直徑

            厚度 (mm)

            運行參數(shù)

            腔內反射鏡Rear Cavity Mirror

            XRM-1203M-193

            XRM-1203CU-193

            0.50"

            3.0

            97%

            XRM-2003M-193

            XRM-2003CU-193

            20mm

            3.6

            97%

            XRM-2503M-193

            XRM-2503CU-193

            1.00"

            3.0

            97%

            XRM-3605M-193

            XRM-3605CU-193

            36mm

            5.5

            97%

            XRM-3805M-193

            XRM-3805CU-193

            1.50"

            5.5

            97%

            XRM-5009M-193

            XRM-5009CU-193

            2.00"

            9.5

            97%

            輸出耦合反射鏡Output Coupler

            XOC-1203M-*R-193

            XOC-1203CU-*R-193

            0.50"

            3.0

            *

            XOC-2003M-*R-193

            XOC-2003CU-*R-193

            20mm

            3.6

            *

            XOC-2503M-*R-193

            XOC-2503CU-*R-193

            1.00"

            3.0

            *

            XOC-3605M-*R-193

            XOC-3605CU-*R-193

            36mm

            5.5

            *

            XOC-3805M-*R-193

            XOC-3805CU-*R-193

            1.50"

            5.5

            *

            XOC-5009M-*R-193

            XOC-5009CU-*R-193

            2.00"

            9.5

            *

            * 根據(jù)客戶要求,可提供任何比例的反射。


            193nm準分子反射鏡XHR/XPR型號參數(shù):

            MgF2

            直徑(英寸)

            厚度(英寸)

            運行參數(shù)

            0°高反射鏡

            XHR-1206U-193-0

            0.50

            0.250

            97%

            XHR-1906U-193-0

            0.75

            0.250

            97%

            XHR-2506U-193-0

            1.00

            0.250

            97%

            XHR-3809U-193-0

            1.50

            0.375

            97%

            XHR-5009U-193-0

            2.00

            0.375

            97%

            45°高反射鏡

            XHR-1206U-193-45

            0.50

            0.250

            96%

            XHR-1906U-193-45

            0.75

            0.250

            96%

            XHR-2506U-193-45

            1.00

            0.250

            96%

            XHR-3809U-193-45

            1.50

            0.375

            96%

            XHR-5009U-193-45

            2.00

            0.375

            96%

            部分反射鏡

            XPR-1206U-*R-193

            0.50

            0.250

            *

            XPR-1906U-*R-193

            0.75

            0.250

            *

            XPR-2506U-*R-193

            1.00

            0.250

            *

            XPR-3809U-*R-193

            1.50

            0.375

            *

            XPR-5009U-*R-193

            2.00

            0.375

            *

            * 反射百分比和入射角可根據(jù)客戶要求提供

            Lambda準分子激光反射鏡 輸出波長193nm

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