真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數字粉塵儀;粒子計數器,環(huán)境監(jiān)測設備,環(huán)境測量設備 環(huán)境檢測設備
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,農林牧漁,能源,綜合 |
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HORIBA堀場微流量優(yōu)良性能壓敏質量流量模塊
HORIBA堀場微流量優(yōu)良性能壓敏質量流量模塊
D700T 系列
優(yōu)良性能壓敏質量流量模塊
D700T 是專為關鍵半導體制造工藝設計的優(yōu)良性能壓力不敏感質量流量模塊。D700T 采用了 HORIBA CRITERION 基于壓力的流量測量和控制技術，以提供行業(yè)的可重復和準確的性能。此外，D700T 的特別之處在于利用了具有雙閥結構的高級流量控制算法，使客戶的氣體輸送系統(tǒng)能夠解決多種挑戰(zhàn)。
≤ 100 毫秒的全面快速建立時間（設置為 Set、Step up 和 Step-down）
入口和出口壓力不敏感的性能
優(yōu)良的故障檢測功能，用于診斷壓力傳感器偏移、閥座泄漏和流量精度變化
重復性在 0.15 %S.P. 以內
優(yōu)良精度規(guī)格在 0.45 %S.P.* 以內（標準：0.8 %S.P.）
更寬的工作溫度范圍 （15-60 °C）
*注：D700T 是單一氣體配置。向 Horiba 詢問規(guī)格。
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