湖北2噸半導(dǎo)體工業(yè)純水設(shè)備工藝

一、預(yù)處理階段

1. 多介質(zhì)過濾器

• 采用石英砂、無煙煤、活性炭等多層濾料，有效去除水中的懸浮物、膠體、有機物及部分重金屬離子。

• 通過自動反沖洗裝置，定期對過濾器進行反沖洗，恢復(fù)過濾性能，保證水質(zhì)穩(wěn)定。

2. 軟化器

• 利用鈉型陽離子交換樹脂，去除水中的鈣、鎂離子，降低原水硬度。

• 通過軟化器自動控制閥，根據(jù)水質(zhì)硬度及流量自動進行再生，確保持續(xù)穩(wěn)定的軟水輸出。

3. 精密過濾器

• 采用5微米孔徑的濾芯，進一步攔截水中的細微顆粒、微生物及碎片，保護后續(xù)設(shè)備的正常運行。

二、反滲透（RO）系統(tǒng)

1. 高壓泵

• 為反滲透膜提供足夠的進水壓力，確保水分子能夠透過反滲透膜。

2. 反滲透膜組件

• 選用高脫鹽率的聚酰胺復(fù)合膜，有效去除水中的溶解性鹽類、有機物、細菌、熱源等雜質(zhì)。

• 通過一級或二級反滲透設(shè)計，提高水質(zhì)純度，滿足半導(dǎo)體工業(yè)的基本用水要求。

3. 反滲透清洗系統(tǒng)

• 定期對反滲透膜進行化學(xué)清洗，去除膜表面的污垢和堵塞物，恢復(fù)膜的通透性和脫鹽率。

三、連續(xù)電除鹽（EDI）系統(tǒng)

1. EDI模塊

• 結(jié)合離子交換樹脂和電滲析技術(shù)，實現(xiàn)水中離子的深度去除。

• 在電場作用下，離子透過離子交換膜遷移，同時水分子在電場作用下產(chǎn)生氫離子和氫氧根離子，實現(xiàn)連續(xù)的離子交換和再生過程。

2. 電源及控制單元

• 為EDI模塊提供穩(wěn)定的直流電源，通過智能控制系統(tǒng)實現(xiàn)對EDI運行的監(jiān)控和調(diào)節(jié)。

3. 水質(zhì)監(jiān)測與循環(huán)系統(tǒng)

• 實時監(jiān)測EDI產(chǎn)水水質(zhì)，如電導(dǎo)率、硅含量等，確保水質(zhì)符合半導(dǎo)體工業(yè)的超純水標(biāo)準(zhǔn)。

• 通過循環(huán)泵和流量計，實現(xiàn)EDI系統(tǒng)的穩(wěn)定運行和水質(zhì)的持續(xù)優(yōu)化。

四、拋光與殺菌階段

1. 紫外線殺菌器

• 利用紫外線破壞微生物的DNA結(jié)構(gòu)，有效殺滅水中殘留的細菌、病毒等微生物，確保水質(zhì)無菌。

2. 終端拋光混床

• 采用核子級混床樹脂，進一步去除水中殘留的離子和有機物，提高水質(zhì)純度。

• 通過自動再生系統(tǒng)，保持混床樹脂的交換容量和使用壽命。

五、控制系統(tǒng)與監(jiān)測儀表

1. PLC可編程邏輯控制器

• 實現(xiàn)對整個純水設(shè)備的自動化控制，包括預(yù)處理、反滲透、EDI、拋光等各個階段的運行管理和故障報警。

2. 水質(zhì)在線監(jiān)測儀表

• 實時監(jiān)測原水和產(chǎn)水的水質(zhì)參數(shù)，如電導(dǎo)率、pH值、溫度、流量、硅含量等，為設(shè)備運行提供數(shù)據(jù)支持。

3. 遠程監(jiān)控系統(tǒng)

• 通過網(wǎng)絡(luò)連接，實現(xiàn)對設(shè)備遠程監(jiān)控和數(shù)據(jù)分析，方便用戶及時了解設(shè)備運行狀態(tài)和維護需求。

湖北2噸半導(dǎo)體工業(yè)純水設(shè)備，專為半導(dǎo)體行業(yè)高精度用水需求設(shè)計。該設(shè)備采用預(yù)處理、反滲透、EDI連續(xù)電除鹽等核心工藝，確保產(chǎn)出水質(zhì)達到半導(dǎo)體制造所需的高純度標(biāo)準(zhǔn)。預(yù)處理階段通過多級過濾與軟化，去除水中懸浮物、有機物及硬度離子，保護后續(xù)設(shè)備。反滲透環(huán)節(jié)利用半透膜深度脫鹽，大幅降低水中溶解性固體含量。