尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 | 材質 | 拋光不銹鋼/鍍金 |
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吸附方式 | 真空吸附 |
探針臺型號 | HTM-600L | HTM-800L HTM-1200L | |
外形尺寸 | 寬580mm | 寬760mm 寬930mm | |
深520mm | 深670mm 深900mm | ||
高800mm | 高800mm | ||
整體重量 | 約100Kg | 約120Kg 約170Kg | |
尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | |
材質 | 拋光不銹鋼/鍍金 | 拋光不銹鋼/鍍金 拋光不銹鋼/鍍金 | |
平整度 | ±3μm | ±3μm ±3μm | |
吸附方式 | 真空吸附 | 真空吸附 | |
電學特性 | 浮地懸空 背 電極信號加載&測量 | 浮地懸空 背電極信號加載&測量 8英寸x8英寸 線性無回差1μm精調 氣浮快速定位 0-10mm,精度1μm 0-360° ±5°,精度0.1° ±20°,精度0.1° 50mmx50mmx50mm 精度1微米 50mm,升降速度可調 0-30°,自動鎖止 500X/1000X/2000X 2μm/ 1μm/ 0.5μm NUV / Visible/ NIR 1920x1080P | |
X-Y軸調節(jié)行程 | 6英寸x6英寸 | ||
X-Y軸調節(jié)方式 | 線性無回差1μm精調 氣浮快速定位 | ||
Z軸升降調節(jié)行程 | 0-10mm,精度1μm | ||
θ 水平方向旋轉角度粗調 | 0-360° | ||
θ 水平方向旋轉角度微調 | ±5°, 精度0.1° | ||
a垂直方向擺動角度微調 | ±20°,精度0.1° | ||
X-Y-Z軸調節(jié)行程 | 50mmx50mmx50mm 精度1微米 | ||
Z軸氣動升降行程 | 50mm,升降速度可調 | ||
傾仰角度調節(jié) | 0-30°,自動鎖止 | ||
光學倍率 | 500X/1000X/2000X | ||
光學分辨率 | 2μm/1μm/0.5μm | ||
光學鏡頭類型 | NUV/ Visible/NIR | ||
工業(yè)相機像素 | 1920x 1080P |