TG397M Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
- 品牌 OSAKA大阪真空
- 型號(hào) TG397M
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/3/29 14:30:14
- 訪問次數(shù) 34
聯(lián)系方式:張斌15528325588 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動(dòng)化上萬種產(chǎn)品的銷售。
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
---|
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
省電設(shè)計(jì),運(yùn)行數(shù)據(jù)、觸地計(jì)數(shù)、型號(hào)信息等可以存儲(chǔ)在主機(jī)中 * 即使在大修期間更換控制器,也可以傳輸數(shù)據(jù)。
各種通信規(guī)格:并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國際標(biāo)準(zhǔn):NRTL/SEMI-S2/CE
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
渦輪分子泵是一種高真空泵,通過高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片將氣體分子從進(jìn)氣口定向抽向排氣口,通常與前級(jí)泵(如旋片泵)聯(lián)用,實(shí)現(xiàn)10?11~10?1 Pa(超高真空至中真空)的壓力范圍。其特點(diǎn)是無油污染、抽速快,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、科研、鍍膜等領(lǐng)域。
結(jié)構(gòu)與工作原理
(1)核心組件
轉(zhuǎn)子葉片:多級(jí)鋁合金或鈦合金渦輪葉片(轉(zhuǎn)速約20,000~90,000 RPM)。
定子葉片:與轉(zhuǎn)子交錯(cuò)排列,形成氣體通道。
電機(jī):高頻交流電機(jī)或磁懸浮軸承電機(jī)(避免機(jī)械磨損)。
排氣口:連接前級(jí)泵(如旋片泵),排出壓縮后的氣體。
(2)工作原理
動(dòng)量傳遞:高速旋轉(zhuǎn)的葉片撞擊氣體分子,使其向下級(jí)運(yùn)動(dòng)(分子流態(tài)下有效)。
壓縮比:每級(jí)葉片對(duì)氣體進(jìn)行壓縮,最終由前級(jí)泵排至大氣。
工作壓力范圍:依賴分子流狀態(tài)(需氣體分子平均自由程>葉片間距)。
?? 注:渦輪分子泵在**分子流態(tài)(壓力<10?1 Pa)**下效率高,需避免大氣壓下啟動(dòng)(會(huì)過熱損壞)。