超聲波清洗是一種利用超聲波振動水和溶劑以清洗附著在要清洗的物體（工件）上的油，細小灰塵和污垢的技術(shù)。在家附近，有一家用于眼鏡清洗的超聲波清洗機，可在眼鏡店買到。工業(yè)用途：去除機器零件的切削油，工具的切削油，切削粉/切屑（桐子），拋光粉（拋光粉）和脫模劑，電鍍前的除油清潔，無鉛印刷廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，例如去除基板上的助焊劑和清洗半導(dǎo)體零件，極大地有助于提高工業(yè)產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量。

另外，超聲波清潔器不僅用于“清潔”，還用于消泡/除氣，分散，攪拌和壓碎。

液體中有無數(shù)的氣體分子，當(dāng)將大約20kHz至100kHz的強超聲波施加到液體時，正負(fù)壓力會交替施加到氣體分子上。在下一刻，被正壓壓縮的氣體分子由于負(fù)壓而劇烈膨脹。由于這種重復(fù)，氣體分子在壓縮過程中具有非常高的壓力，在此極限下，它們破裂并消失。這種極大的沖擊壓力的產(chǎn)生被稱為“氣蝕現(xiàn)象”，并且當(dāng)氣泡破裂而作用于工件以分離異物時的沖擊波的作用被稱為“氣蝕效應(yīng)”。

它主要是中低頻的清潔動作。

實際使用超聲波清潔器時，氣蝕發(fā)生的方式會根據(jù)液體深度和液體類型而變化。因此，這些控制對于良好的超聲波清潔至關(guān)重要。

空化的沖擊壓力可有效清除頑固污漬。去除機器零件的模具，工具的切削油，切削粉/切屑（桐子），拋光粉（拋光粉）和脫模劑，電鍍前的除油清洗，去除無鉛印刷基板上的助焊劑適用于“常規(guī)清洗” “ 如。
但是，氣蝕發(fā)生的方式會根據(jù)液體深度和液體類型而變化，因此，這些控制對于良好的超聲波清洗是要的。管理不善不僅會阻止超聲波有效地浸入液體中，還會損壞振動表面（腐蝕）并加速隔膜的損壞。

半導(dǎo)體晶圓的批處理清洗

這是一種通過將多個晶片放置在MHz頻帶的超聲清洗槽中來同時清洗多個晶片的方法。
（1）由于一次可以清洗許多晶片，因此可以縮短時間；
（2）與單晶片類型相比，清洗液的量相對較??；
（3）這種方法易于使用，例如雙層坦克已經(jīng)成為主流。
通常，當(dāng)以批處理方式使用化學(xué)溶液時，通常使用以清洗槽和石英槽的雙重結(jié)構(gòu)間接照射的浸入式清洗。另外，通過使用石英罐，可以獲得避免金屬離子和雜質(zhì)溶出并保持清潔度的效果。
然而，已經(jīng)出現(xiàn)了分批式清潔的問題，例如由于基板尺寸的增加而導(dǎo)致設(shè)備尺寸的增加以及由于基板圖案的小型化而導(dǎo)致的顆粒的重新附著。

下一代清潔技術(shù)，損傷小，清潔度高

2006年，本田電子公司開發(fā)了一臺石英振蕩器式超聲波清洗裝置。在該方法中，通過將超聲波疊加在石英晶體振蕩器上來清潔半導(dǎo)體晶片。與間歇式和流水式相比，可以減少化學(xué)藥品的使用量，并且濕部件僅由石英玻璃和耐化學(xué)性樹脂制成，并且填料等橡膠材料不會與液體接觸，所以很干凈，我會的。另外，通過改變晶體振蕩器的形狀，可以滿足需要的有效清潔，例如低損傷清潔，大面積清潔以及難以去除的斜面（端面）和凹口（晶圓末端的凹口）的清潔。臉），應(yīng)該執(zhí)行。

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深圳市安川測量儀器有限公司

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日本本多HONDA兆聲超聲波清洗原理及超聲波清洗的機理

什么是超聲波清洗？

超聲波清洗以提高工業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量

空化清潔

通過粒子加速清潔

直流清潔

■批次式洗衣機

金屬和樹脂零件的溶劑脫脂清潔，精密金屬零件的清潔

關(guān)于侵蝕

關(guān)于駐波（清潔不均）

實驗室/一般用途

工業(yè)的