14
離子風棒 Aerobar 5635 5645MP 靜電消除器
特征
■單晶硅電極在全球范圍內(nèi)擁有的應用記錄，具有超低顆粒特性，避免了電極材料造成的金屬污染風險。
■MP（脈沖調(diào)制）方法可有效地將離子傳輸至電極。靜電中和性能
■電位擺動小，即使在 100 mm 的距離內(nèi)也可使用，并且離子平衡在棒長度上幾乎沒有偏差
■離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡由智能控制電路持續(xù)自動管理
■更換。 1/4 圈即可安裝和拆卸 該型電極有助于減少維護工時
■ MP 方法的特點是電位波動非常小，從而簡化了設置。較小的電位波動還可以有效地保持長期狀態(tài)?？刂茦藴蕛?nèi)的離子平衡
。 ■桿的長度根據(jù)半導體前端工藝的 EFEM 設置
■緊湊型設計，內(nèi)置 24V DC 驅(qū)動控制器
■全球范圍內(nèi)的高級支持網(wǎng)絡
離子風棒 Aerobar 5635 5645MP 靜電消除器
規(guī)格
型號 5635 AeroBar MP
| 輸入電壓 | 24V 直流+/-10% |
|---|---|
| 輸出電壓 | 最大約13.5kv pp可調(diào) |
| 安裝距離 | 100mm 至 1000mm（無空氣吹掃） |
| 離子發(fā)生方式 | 電暈放電方式 MP（脈沖調(diào)制）方式 調(diào)制頻率 1 ～ 33 Hz |
| 離子平衡 | 自動平衡調(diào)整方法 <+/-10V 正下方 位置差異 <+/-10V （600 mm 距離） |
| 電極 | 單晶硅電極可更換 |
| 吹掃氣體 | 清潔干燥空氣或N2 |
| 最大吹掃壓力 | 310Kpa |
| 臭氧量 | <0.05ppm（24小時積分值） |
| 信號輸出 | 報警IO集電極開路輸出 |
| 尺寸 | 高78mm x 深34mm x 長度450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 /1900/2050/2200/2350mm 以下 |
| 外部的 | ABS樹脂 |