為了滿足精度和效率的需求,溫度控制在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中起著決定性的作用,為了克服芯片制造中面臨的挑戰(zhàn),LAUDA 為半導(dǎo)體的核心工藝,提供了創(chuàng)新的溫度控制解決方案。
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