氮化鋁（AlN）陶瓷基片是一種新型的基片材料，具有優(yōu)異的電性能、力學(xué)性能以及熱性能，其熱導(dǎo)率高（理論熱導(dǎo)率280W/m/K）、介電常數(shù)低（約為8.8）、擁有與硅Si相匹配的熱膨脹系數(shù)（293K-773K，4.8×10-6K-1）、電阻率高（>1014Ω•cm）、擊穿場強高（1.4×107V/cm）、比重低（理論密度3.26g/cm3）、機械強度高（抗彎強度300-400MPa）、無毒，是理想的大規(guī)模集成電路散熱基板和封裝材料。除此之外，氮化鋁陶瓷基板不含有機成分，銅層不含氧化層，對熔融金屬有優(yōu)良的耐腐蝕特殊性，使用壽命長，可在還原性氣氛中長期使用，在國防、航空航天、通訊、微電子等領(lǐng)域內(nèi)應(yīng)用前景十分廣闊。
然而,由于AlN是以共價鍵結(jié)合為主的化合物,自擴散系數(shù)小, 難以燒結(jié)致密，所以AlN的燒結(jié)工藝是基片材料制作過程中的一處難點。 氮化鋁陶瓷的燒結(jié)主要需要注意以下幾點，首先是升溫速率、燒結(jié)溫度和保溫時間，其次要選擇合適的保護氣氛防止AlN氧化，后還要確保燒結(jié)設(shè)備有很好的溫度均勻性。
Carbolite?Gero（卡博萊特?蓋羅）在國內(nèi)外氮化鋁陶瓷燒結(jié)方面有非常廣泛的客戶群體和成熟的工藝技術(shù)，可為氮化鋁陶瓷燒結(jié)提供溫度高達2200℃的箱式爐（HTK系列）和鐘罩爐（HBO系列）。
爐子的防輻射隔熱屏蔽材料和加熱元件是同一材質(zhì)，沒有纖維保溫材料，所以可達到高真空度和純凈的氣氛環(huán)境（纖維材料會有孔隙），保證了燒結(jié)工藝在高溫下的安全性。Carbolite?Gero還可保證高純度氣氛環(huán)境（>6N）和高真空度。根據(jù)要求提供氫氣分壓以及可燃或有毒氣體的認(rèn)證安全管理。用于質(zhì)量控制的數(shù)據(jù)記錄。另外，加熱元件的合理分布、三區(qū)控溫?zé)峒夹g(shù)以及氣氛預(yù)熱保證了設(shè)備良好的溫度均勻性。除此之外，爐體可自動升降，過程十分平穩(wěn)，確保樣品不受震動的影響。
HBO 60/W22-1G 用于LTCC/ALN基板及封裝
Carbolite?Gero（卡博萊特?蓋羅）是專業(yè)的箱式、管式馬弗爐和烘箱品牌，溫度范圍30℃-3000℃，產(chǎn)品覆蓋高溫爐、真空爐、氣氛爐、石墨爐，已被廣泛應(yīng)用于航空航天、陶瓷、煤炭、金屬、電子等行業(yè)，并可為客戶提供滿足行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和工藝需求的定制化解決方案。
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