目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學(xué)測量系列>>晶圓測試儀器>> FPPVA-380M等離子體去膠機(jī),等離zi體除膠
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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等離子體去膠機(jī)GIGAbatch 360M和380M采用等離子體除膠清洗清潔功能為晶圓去膠提供晶圓去膠機(jī)。等離子體去膠機(jī)360M有一個直徑為245毫米的加工室，可容納多達(dá)50個直徑為150毫米的晶圓。等離子體去膠機(jī)380M腔室的內(nèi)徑為300mm,適合25個直徑為200mm的晶圓共同批量去膠清潔。
等離子體去膠機(jī)基本版本是一種帶有涂漆鑲板、可調(diào)節(jié)腳和腳輪的落地式設(shè)備。它有一個輸出功率為1000W的發(fā)電機(jī)、兩個MFC氣體管道、晶片溫度監(jiān)測和端點檢測系統(tǒng)。此外，還包括用于固定晶圓和基板的裝置。它安裝在室內(nèi)艙門上，并根據(jù)各自的客戶要求進(jìn)行設(shè)計。
等離子體去膠機(jī)可選配項目
過程壓力主動控制裝置（DSC）
法拉第籠
附加氣體管道
不同尺寸基板或晶圓的加載裝置
陶瓷加工室
含氟工藝氣體操作專用密封
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