目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學(xué)測量系列>>晶圓測試儀器>> FPEH+beltsorter帶式晶圓分選機(jī),硅片分選
帶式晶圓分選機(jī)belt sorter是專業(yè)為晶圓硅片分選設(shè)計(jì)的皮帶式晶圓硅片分選機(jī),最大可適合8''晶圓分選分揀,非常適合晶圓硅片的生產(chǎn)測試。
帶式晶圓分選機(jī)belt sorter特點(diǎn)
可靈活集成MX 202晶圓測厚儀和翹曲度測量儀器
生產(chǎn)時(shí)間短
極限壽命
低維護(hù)
成熟且長期的現(xiàn)場認(rèn)可設(shè)計(jì)
25年以上皮帶分揀機(jī)經(jīng)驗(yàn)
高速分選,每小時(shí)分揀多達(dá)1000個(gè)晶片
晶圓操作模塊
發(fā)送方/接收方自動化手臂
用于在接收器區(qū)域分配晶片的晶片開關(guān)
帶安裝升降機(jī)的可移動裝置
過境模塊
晶圓測厚,翹曲度測量模塊MX 202
AZ6（6-33）或AZ8（8-37）幾何模塊
帶單厚度傳感器對的T型模塊
帶有集成可選P/N傳感器的電阻率模塊
軟件與自動化
我們所有的晶圓測厚,翹曲度測量模塊MX工具系列都使用同一個(gè)Windows操作軟件MX-NT V2。它結(jié)合了20多年半導(dǎo)體需求方面的經(jīng)驗(yàn)。
通過高度靈活和可重復(fù)使用的配方，可以根據(jù)獲得的任何特征進(jìn)行分類，例如根據(jù)厚度進(jìn)行分組。
所有數(shù)據(jù)都可以存儲在MS SQL Server數(shù)據(jù)庫中，也可以存儲在MS Access數(shù)據(jù)庫中。
功能強(qiáng)大的軟件選項(xiàng)，如SECS/GEM自動化接口或我們類似的專有簡單Soap Server One（SO）接口，允許將E+H工具無縫集成到您的生產(chǎn)工廠中。
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