目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>半導(dǎo)體微電子設(shè)備>>等離子體處理>> FPANG-COVAPCOVAP物理氣相沉積系統(tǒng),PVD系統(tǒng)
COVAP物理氣相沉積系統(tǒng)為許多工藝應(yīng)用提供緊湊、經(jīng)濟(jì)、但仍然穩(wěn)健的PVD解決方案。專為需要安全可靠PVD的實(shí)驗(yàn)室而設(shè)計(jì)，該COVAP物理氣相沉積系統(tǒng)可在緊湊的實(shí)驗(yàn)室內(nèi)生產(chǎn)可重復(fù)的高質(zhì)量薄膜。
COVAP物理氣相沉積系統(tǒng)隔離沉積源以減少熱效應(yīng)和交叉污染。Covap PVD系統(tǒng)配備了一整套可拆卸腔室屏蔽，以確保腔室易于清潔和維護(hù)。當(dāng)腔室打開時(shí)，切斷電源和級電源以及氣壓，確保高水平的安全。它可以集成到手套箱中，也可以在獨(dú)立配置中選擇。
COVAP物理氣相沉積系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
矩形蛤殼式腔室，便于接近
即使在手套箱中，也可以輕松裝載材料和基材
Covap物理氣相沉積平臺為移除屏蔽、清潔和為下一次運(yùn)行準(zhǔn)備系統(tǒng)提供了暢通無阻的通道
準(zhǔn)備好手套箱集成
緊湊型600mm x 1000mm系統(tǒng)占地面積
從2或4個(gè)源配置中進(jìn)行選擇
基于配方的高級多層控制
順序或共沉積
最大100mm x 100mm基板的固定支架
仔細(xì)隔離QCM傳感器，以確保沒有來自相鄰源材料的干擾
渦輪分子泵提供高真空
2年保修，擁有業(yè)界靈敏的支持團(tuán)隊(duì)
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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