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晶圓接觸角測試儀是為晶圓表面加工質(zhì)量檢測而設(shè)計(jì)的光學(xué)接觸角測試儀,提供晶圓表面接觸角和表面能分析,以評估附著力、清潔度和涂層。
盡管晶圓接觸角測試儀是為晶圓表面分析而設(shè)計(jì),但它適合任何需要位移臺行程較大的應(yīng)用,可輕松容納尺寸高達(dá)W12“x L12"x H.75“的樣品。
晶圓接觸角測試儀VCA 3000S采用精密相機(jī)和良好的PC技術(shù)，捕捉液滴的靜態(tài)或動態(tài)圖像，并確定接觸角測量的基礎(chǔ)切線。手動或自動注射器提供測試液體的簡單分配。計(jì)算機(jī)化的操作消除了人為錯誤的線條繪制和捕捉動態(tài)圖像的時間敏感分析。數(shù)據(jù)和圖像存儲在計(jì)算機(jī)中，以便以后分析或方便地傳輸?shù)狡渌浖?yīng)用程序。
晶圓接觸角測試儀應(yīng)用
HMDS工藝的涂層評定
表面污染檢測
粘合劑和底漆制備
涂層均勻性
涂層質(zhì)量
表面清潔度

晶圓接觸角測試儀特點(diǎn)
高分辨率攝像機(jī)，帶放大鏡和高強(qiáng)度LED照明，可精確拍攝圖像
300mm旋轉(zhuǎn)臺，允許進(jìn)入晶圓的所有區(qū)域
 PC是高性能視頻板的標(biāo)準(zhǔn)配置，用于高級圖像分析和視頻捕獲
平板顯示器
自動接觸角成像與計(jì)算
動態(tài)液滴捕捉（液滴的電影觀看）
表面能（達(dá)因/cm）分析
統(tǒng)計(jì)過程控制